1 河北工业大学, 天津 300130
2 南开大学光电子薄膜技术与器件研究所, 天津 300071
微晶硅(μc-Si:H)是国际公认的新一代硅基薄膜太阳能电池材料。综述了微晶硅的基本特性, 器件质量级材料的表征参量, 材料的生长技术, 微晶硅在太阳电池中的应用及其发展前景。
微晶硅 转化效率 等离子体增强化学气相沉积 太阳电池
1 天津机电职业技术学院,天津,300131
2 南开大学光电子·电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071
用光发射谱(OES)和喇曼散射谱(Raman)研究了VHF-PECVD制备硅薄膜的结构特性.OES测试结果表明:随功率增加,对应各基团峰的强度增大;结合喇曼的测试结果,OES谱得到的结果可以用来定性地表征制备薄膜的晶化程度;纯化器可以降低制备薄膜中的氧含量,Raman测试结果表明相应的晶化率低.
甚高频等离子体增强化学气相沉积 光发射谱 喇曼散射谱 VHF-PECVD optical emission spectroscopy Raman spectroscopy
