廖袁杰 1李耀鹏 1宋晓晓 1张欣彤 1[ ... ]李晶 1,3,**
作者单位
摘要
1 复旦大学 光科学与工程系上海超精密光学制造工程技术研究中心,上海 200438
2 南京邮电大学 电子与光学工程学院&微电子学院,江苏 南京 210023
3 复旦大学 微纳光子结构教育部重点实验室,上海 200433
对Sb2Te3薄膜的结构、线性光学及非线性吸收性质的Ti掺杂影响进行了系统性探究。利用磁控溅射和高温退火手段制备了不同Ti掺杂浓度的晶态Sb2Te3薄膜。X射线光电子能谱分析显示Sb2Te3薄膜中的Ti元素以Ti4+化学态以TiTe2的形式存在。线性光学性质结果表明,在保持非线性器件中宽工作波长特性的同时,Ti掺杂可以提高Sb2Te3薄膜的透射率,并降低光学带隙从1.32 eV至1.25 eV,根据Burstein-Moss理论,这取决于载流子的减少。利用自主搭建的开孔Z扫描系统,测试了薄膜样品在132 GW/cm2强度下800 nm飞秒激光激发的非线性吸收性质,结果显示的Ti掺杂引起的饱和吸收可调谐行为可归因于光学带隙减小与晶化抑制的竞争效应。此外,Ti掺杂将Sb2Te3薄膜的激光损伤阈值从188.6 GW/cm2提高到了265.5 GW/cm2。总而言之,Ti掺杂Sb2Te3薄膜在非线性光学器件领域具有广泛的应用前景。
钛掺杂 碲化锑薄膜 光学带隙 饱和吸收 开孔Z扫描 Ti-dopant Sb2Te3 thin film optical band gap saturable absorption open-aperture Z-scan 
红外与毫米波学报
2022, 41(6): 1022
倪康 1胡二涛 1,*王敏 1王静 2[ ... ]韦玮 1
作者单位
摘要
1 南京邮电大学电子与光学工程学院,江苏 南京 210023
2 南京邮电大学通达学院基础教学部,江苏 扬州 225127
结合多靶磁控溅射镀膜方法和自制的一维位移挡板样品台制备了基于TiO2和SiO2的可见光谱区线性渐变滤光片(LVOF)。使用商用分光光度计和一维手动平移样品台对样品进行光谱表征。重点研究了退火温度和时间对LVOF透射光谱的影响。结果表明,LVOF样品的可工作光谱范围为510~700 nm,且样品上不同位置的透射光谱峰值与样品位置呈现出良好的线性关系。在300 °C下进行1 h真空退火处理后,样品的透射率得到了显著提升,优于60%。这表明退火处理可显著提升LVOF的性能。
光学器件 线性渐变滤光片 磁控溅射 透射率 退火 
激光与光电子学进展
2022, 59(23): 2323001
作者单位
摘要
1 复旦大学 光科系,上海 200433
2 南京邮电大学 光电工程学院,江苏 南京 210023
3 早稻田大学 情报生产系统研究科,日本 东京〒169-8050
4 汉阳大学 物理系,韩国首尔 133-791
理论上研究了吸收层材料的光学常数,该常数满足从紫外线到近红外波长范围的四层结构的光子-热转换的高效率。通过使用有效介质近似(EMA)模型,复合材料(金属陶瓷)的光学性能与模拟材料的光学性能非常吻合。此外,提出了使用Ti-MgF2金属陶瓷作为吸收层的具有高光子-热转换效率的四层膜结构,其在300~1 600 nm的波长范围内具有约95.1%的高吸收率。研究结果为实现高效率的光热转换器件提供了新途径,显示了优良的应用前景。
光热转换薄膜 光学常数 有效介质近似模型 Ti-MgF2金属陶瓷 photon-to-heat conversion film optical constants the effective medium approximation model Ti-MgF2 cermet 
红外与毫米波学报
2021, 40(3): 290
作者单位
摘要
1 复旦大学 光科学与工程系,上海 200433
2 南京邮电大学 电子与光学工程学院&微电子学院,江苏 南京 210023
理论优化并成功制备了一种以W-SiO2双金属陶瓷作为吸收层的太阳能选择性吸收薄膜,同时提高了薄膜在太阳辐射波段的吸收并降低了在红外波段的热辐射。研究了包括金属反射层材料、吸收层金属体积分数等因素对薄膜整体吸收效率的影响。基于对Si和K9玻璃基底上生长的不同金属体积分数的W-SiO2陶瓷薄膜光学常数的研究,利用磁控溅射方法制备出如下膜系:W(~150 nm)/ W-SiO2(94 nm,0.67HVF)/ W-SiO2(34 nm,0.27LVF)/ SiO2(47 nm)。膜系实际测量结果与仿真结果完全吻合,在250∼1 500 nm宽光谱波段实现了高达95.3%的吸收率,并且在600 K温度下达到0.124的低热辐射率。该四层膜系结构简单,易于制备,有很强的实际应用前景。
太阳能选择性吸收薄膜 W-SiO2金属陶瓷 高太阳能吸收率 低热辐射率 solar selective absorber W-SiO2 cermet layer high solar absorbance low thermal emittance 
红外与毫米波学报
2021, 40(2): 150
作者单位
摘要
1 南京邮电大学电子与光学工程学院, 微电子学院, 江苏 南京 210023
2 南京邮电大学通达学院基础教学部, 江苏 扬州 225127
理论设计对于高性能太阳能光热转换薄膜的实验制备极为重要。然而,大多数软件通常局限于正入射情况下的太阳光吸收率的优化,而无法直接对太阳能光热转换效率这一重要指标进行优化。鉴于以上问题,使用传输矩阵方法与遗传优化算法,通过改变金属/介质多层膜基太阳能光热转换薄膜中各层薄膜的厚度,直接对其光热转换效率进行优化设计。重点研究了薄膜层数、太阳光照度与工作环境温度对钨/氧化铝基(W/Al2O3)多层膜的影响。研究结果表明,在聚光比为1和100情况下,该膜系的最优膜层数分别为6与8。该研究结果对于高性能太阳能光热转换薄膜的实验制备具有重要的指导意义。
薄膜 金属/介质多层薄膜 传输矩阵方法 遗传算法 太阳能光热转换 太阳光聚光比 
光学学报
2020, 40(14): 1431001
作者单位
摘要
1 复旦大学光科系与工程系,上海 200433
2 南京邮电大学电子与光学工程学院 &微电子学院,江苏南京 210023
提出一种基于金属-介质六层膜的高太阳辐射吸收的新型双十字形微结构,计算显示其加权平均吸收率在截止波长前的光谱区约为96.5%,850 K温度的辐射率为 0.086.通过场图分析对太阳能波段的光热吸收机制进行了探讨.不同入射角情况下的计算结果显示,基于双十字形微结构的太阳能选择性吸收薄膜可具有低偏振依赖性,以及小于 50°入射角条件下的低入射角依赖性特点,将能够满足太阳能选择性吸收器件的应用需求.
太阳能选择性吸收薄膜 光子晶体吸收器 高吸收 低辐射 solarselectiveabsorber photoniccrystalabsorbers highabsorption lowemittance 
红外与毫米波学报
2019, 38(5): 566
作者单位
摘要
南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院, 江苏 南京 210023
采用磁控溅射镀膜仪制备了基于过渡金属W和介质SiO2的6层薄膜样品,膜系结构为Cu (>100.0 nm)/SiO2(63.5 nm)/W(11.0 nm)/SiO2(60.0 nm)/W(5.4 nm)/SiO2(75.5 nm)。在250~2500 nm的波长范围内,该样品的太阳光吸收率为95.3%,且在400 ℃低真空(6 Pa)条件下退火72 h之后,样品的反射光谱特性变化较小,证明了该样品具有极高的热稳定性。使用红外热成像仪对样品的红外辐射特性进行了在位实时表征,结果表明样品具有低辐射特性。这些优良的特性有利于该样品在太阳能光热转换中的应用。
薄膜 太阳光谱选择性吸收 磁控溅射 热辐射 热成像仪 
光学学报
2019, 39(5): 0531001
作者单位
摘要
1 复旦大学 光科系, 上海 200433
2 南京邮电大学 光电工程学院, 江苏 南京 210023
基于铬钨合金能带结构的研究, 得到了可表述任意铬钨合金组分光学性质的数学模型, 并将其应用于实际光热器件特性分析.根据由模型获得特定组分铬钨合金的光学性质, 设计了一个含有单层铬钨合金吸收层的四层膜结构, 显示出优异的宽光谱(300~1000 nm)光热转换性能.
铬钨合金 合金光学模型 光热转换薄膜 Cr-W alloy optical model of alloy photon-to-heat conversion film structure 
红外与毫米波学报
2019, 38(2): 02139
作者单位
摘要
复旦大学 光科学与工程系,上海超精密光学制造工程技术研究中心,上海 200433
采用磁控溅射方法在硅衬底上生长了五个不同组分的银铟合金薄膜.采用椭圆偏振光谱仪研究银铟合金薄膜的光学性质.银基金属薄膜一般在3.9 eV附近出现典型的带间跃迁.随着铟含量的增加,银铟合金薄膜的介电函数呈现出明显增加的趋势,典型带间跃迁能量也出现蓝移.结果表明,银铟合金薄膜的光学性质可以通过其中铟元素的含量进行调控.Ag0.93In0.07薄膜比其他四种组分的银铟合金薄膜有着更大的品质因子(Q因子),而且在一些波段甚至比纯金属金和铜的Q因子都要大,这表明银铟合金材料具有成为新型等离子体材料的潜力.
银铟合金薄膜 光学性质 椭圆偏振光谱仪 磁控溅射 Ag-In alloy films optical properties spectroscopic ellipsometry magnetron sputtering 
红外与毫米波学报
2016, 35(1): 1

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