机载激光雷达(LiDAR)点云数据滤波是目前点云数据处理领域研究的重点。针对目前点云数据滤波的难点,提出了一种基于多尺度虚拟格网和并行计算的改进滤波方法。该方法通过点云数据构建多级虚拟格网,对格网进行多尺度分解,剔除LiDAR数据中的粗差点,获取初始地面点及地物点;根据双向阈值滤波原理,以网格尺度由大到小的顺序逐层进行滤波处理,得到较为精细的地面点,并结合点云数据的并行编程处理,减少了滤波算法的误差积累。实验结果表明:改进算法与其他经典滤波算法相比,滤波精度有了较大的提高,在不同的地形条件下能有效地控制第II类误差,同时减少了总误差,提高了滤波处理的效率和数字高程模型(DEM)的可靠性。

对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥膜。最后,给出了完整的开关制备流程。与常规工艺相比,新工艺避免了应力集中问题,提高了开关的机械可靠性,成品率从10%提高到了95%,工作寿命从1000次提高到了2.5×10⁷次。此外,在23.3 V的驱动电压下,开关插入损耗<0.55 dB@DC-10 GHz,隔离度>53.2 dB@DC-10 GHz。结果表明该工艺可满足无线通讯对MEMS开关成品率、寿命和微波性能的要求。