本文研制了一种光纤耦合湿敏监测装置,此装置采用MEMS微位移传感器来进行湿敏微腔耦合位置的辅助校准,再用光强传感器对耦合输出的光波进行湿度感测和量化。这种基于MEMS位移传感器的耦合位置校准方法与现有的校准平台相比,无需外加太多繁琐、庞大的仪器装置,就可获得精准又便捷的校准效果。另外在传感系统后端可进行可编程控制程序开发,用加载的数据采集卡来实现湿度敏感单元敏感量的采集与显示。
湿度采集 数码显示 位移传感 角速度传感 光强检测 锥形光纤 humidity acquisition digital display displacement sensor angular velocity sensor light intensity measurement tapered optical fiber
电子工程系上海电子信息职业技术学院, 上海 201411
详细研究了微球传感应用领域的机制和过程, 并给出了优化其传感特性的实验方案。同时研究了微球水汽传感应用的可行性。对两个不同的腔环境(水汽和无水汽)中微球的透射谱分别进行了分析。在实验之前, 还进行了软件仿真。在两种情况下, 仿真结果和实验得出的透射谱都发生了显著变化, 这验证了微球对湿度的敏感性。
微腔 光纤 传感器 BeamProp软件 回音壁模式 micro-cavity fiber sensor BeamProp whispering gallery mode
1 上海电子信息职业技术学院电子工程系, 上海 201411
2 复旦大学公共政策与信息管理博士生, 上海 200433
研究圆球微腔传感应用的详细实验过程, 给出传感特性验证通用的优化实验方案。微球与环境的折射率差别越小, 半径越小, 其灵敏度越高。加工时应使用高精度热源为佳, 并进行CCD监视, 融化形成球立即停止加热。提出了圆球微腔用作测试水蒸汽的湿敏传感器的应用方向。
微腔 光纤 微球 耦合 传感器 回音壁模式 micro-cavity optical fiber micro-ball coupling sensors whispering gallery mode
1 华东师范大学,信息科学与技术学院,上海,200062
2 中国科学院上海技术物理所,红外物理国家重点实验室,上海,200083
在厚膜多孔硅(PS)/氧化多孔硅(OPS)衬底上,结合聚酰亚胺涂层改善表面,研制低损耗、高性能射频(RF)/微波(MW)共平面波导CPW(Coplanar Waveguide).通过在N和P型硅上形成不同厚度PS膜,并对其上的CPW进行分析比较,厚膜PS与石英的共面波导插入损耗非常接近,远小于在2000Ω·cm高阻硅上形成的多晶硅-氧化硅组合衬底:在0-33GHz范围,插入损耗小于5dB/1.2cm;33-40GHz范围,小于7.5dB/1.2cm.
射频(RF)/微波(MW) 多孔硅/氧化多孔硅 共面波导 插入损耗 RF/microwave PS/OPS CPW（coplanar waveguide） insertion loss
