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激光器件与激光物理
OLD诊断SiH4的LPCVD动力学过程
傅广生 李晓苇 韩理 张连水 [ ... ]薛春银 
作者单位
摘要
河北大学物理系
用光声激光偏转（OLD）测量了强TEA CO2脉冲激光辐照SiH4-H2系统产生等离子体淀积（LPCVD）硅薄膜过程中的激波效应,证明激光击穿SiH4诱发的激波效应是LPCVD中基本的气体动力学过程,并讨论了激波对膜生长的影响。
PDF全文 Full Text
中国激光
1987, 14(11): 671
激光器件与激光物理
激光预热基片化学气相沉积硅薄膜
陈万湘 王入更 薛春银 王玉琪 
作者单位
摘要
河北大学物理系
PDF全文 Full Text
中国激光
1983, 10(12): 858
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