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薄膜
富勒烯作为过渡层生长金刚石薄膜研究
杨国伟 1刘大军 2袁放成 1何金田 2[ ... ]毛友德 3
作者单位
摘要
1 湘潭大学物理系, 湘潭 411105
2 郑州大学物理系, 郑州 450052
3 合肥工业大学应用物理系, 合肥 230009
采用微波等离子体化学汽相淀积法，以C60膜为过渡层，在光滑的单晶Si衬底(100)表面和研磨的石英衬底表面等光学衬底上，首次在无衬底负偏压条件下生长出多晶金刚石薄膜，通过扫描电镜观察到生长膜晶粒呈莱花状，生长表面为金刚石(100)晶面。
富勒烯 过渡层 金刚石薄膜 
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光学学报
1996, 16(5): 675
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