本文利用蒙特卡罗方法，模拟了氩气辉光放电鞘层内离子的运动过程，得到了不同气压和不同放电电压下离子入射阴极的能量分布和角度分布。模拟基于离子与中性原子的电荷转移碰撞和弹性散射两种物理过程，并且分别考虑了碰撞截面与能量相关和不相关两种情况。同时较为系统地研究了放电参数对离子能量分布和角度分布的影响。
辉光放电 等离子体鞘层 蒙特卡罗模拟 glow discharge plasma sheath Monte Carlo simulation
1 湘潭大学物理系, 湘潭 411105
2 郑州大学物理系, 郑州 450052
3 合肥工业大学应用物理系, 合肥 230009
采用微波等离子体化学汽相淀积法，以C60膜为过渡层，在光滑的单晶Si衬底(100)表面和研磨的石英衬底表面等光学衬底上，首次在无衬底负偏压条件下生长出多晶金刚石薄膜，通过扫描电镜观察到生长膜晶粒呈莱花状，生长表面为金刚石(100)晶面。
富勒烯 过渡层 金刚石薄膜
1 合肥工业大学应用物理系, 合肥 230009
2 航空航天部第014中心, 洛阳 471009
本文用PCVD方法在Si、Ge、玻璃等基片上制备出品质较好的类金刚石薄膜,用Raman光谱和红外吸收谱等研究了制备膜的结构,并且研究了膜的光吸收和在Si、Ge等基片上的红外增透作用。
光学特性
