南京大学 超导电子研究所，江苏 南京 210093
对于THz 频段的检测器，当器件的尺寸远远小于检测信号的波长时，可以获得快速的响应速度，但耦合信号的能力会下降。为了提高检测器的信号耦合能力，需要借助天线收集信号。因此天线的性能直接决定着器件的响应频段及灵敏度等参数指标。六氮五铌(Nb5N6) 微测热辐射计太赫兹检测器采用平面集成天线的方式来耦合信号，平面天线通过微加工技术，经过光刻、剥离等过程，集成在基片上，Nb5N6 置于平面天线的中心。针对0.32 THz 的中心频率，尝试采用电容耦合信号的设计方法，提高了Nb5N6 的信号耦合能力。
六氮五铌 太赫兹检测器 阻抗匹配 电容耦合 微测辐射热计 Nb5N6 THz detector impedance matching capacitive coupling microbolometer 太赫兹科学与电子信息学报
2015, 13(1): 27
