CLP Researching 中国光学期刊网 光电汇 爱光学
激光物理
金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究
林成鲁 邢昆山 陈莉芝 许学敏 [ ... ]邹世昌 
作者单位
摘要
中国科学院上海冶金所离子束开放实验室, 上海 200050
以CW Ar+激光对非晶硅再结晶得到了SOM(Silicon on Metal)多晶硅新材料。其晶粒大小为10×40 μm2,杂质分布均匀,电学性能大大改善.用这种SOM材料已制备成功在1bar压力范围内灵敏度为6mV/V的性能良好的压力传感器。
激光再结晶 SOM材料 压力传感器 
PDF全文 Full Text
中国激光
1990, 17(7): 416
推荐专家MORE
张杰 王贻芳姜会林潘建伟曹健林范滇元褚君浩周炳琨姜中宏

热点聚焦

MORE
2023中国光学十大进展入选名单
重磅！“2023中国光学十大进展”发布
基于类人算法的智能锁模固体激光器
2023中国光学十大进展提名奖名单
两项激光相关的项目入选2023年度国家科学技术奖初评 | 激光快报
光品汇商城上线啦！

学术活动

MORE

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务，点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站，请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!
快速查询 高级查询
最近搜索：许学敏  
大家在搜： 人工智能     图像处理     光子 
热门搜索： 机器视觉     光通信     光纤传感器