同名作者【路郭武】论文列表 -- 中国光学期刊网

同名作者【路郭武】论文列表

期刊

选择下列全部论文 将选定结果：

高效铜激光倍频及在光刻中的应用

任虹梁培辉路郭武叶韧崔自强

作者单位

摘要

中国科学院上海光机所,上海 201800

通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在BBO晶体中信频,当基频光功率为5.4 W时,倍频效率达14.4%。用钢激光倍频光进行接触式光刻,刻线分辨率优于1.0 μm。

铜激光倍频光刻

PDF全文 Full Text

中国激光

1995, 22(1): 9

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务，点击此处了解我们的隐私策略。如您需继续使用本网站，请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。

您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!

快速查询高级查询

最近搜索：路郭武

大家在搜：人工智能图像处理光子

热门搜索：机器视觉光通信光纤传感器