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Abstract
Department of Physics, Zhejiang University, Hangzhou 310027
A sealed-off CuBr vapour laser with the maximal average output laser power of 20 W was fabricated and investigated. The corresponding efficiency is 1.2% and the specific average output laser power is 123 mW/cm3 in an active volume of 163 cm3. The lifetime of the laser is more than 300 hours operating at 12-15 W.
封离式激光管 溴化亚铜激光 实用化激光器 140.1340 Atomic gas lasers 140.7300 Visible lasers 140.3460 Lasers Chinese Optics Letters
2007, 5(10): 591
浙江工商大学 信息电子工程学院,浙江 杭州 310035
针对溴化亚铜激光器中放电管径向温度不均匀现象,在工程设计中同时采用隔环结构放电管设计方案和溴化亚铜激光放电管充氢方案。对隔环结构及隔环结构同时充氢的CuBr激光放电管温度场进行了分析。利用简化的热流耗散泊松方程,给出了激光放电管内温度场分布的数学模型,获得了激光放电管气体温度场径向分布的解析表达式,明确了温度分布与输入电功率及缓冲气体热传导系数之间的关系,得到了与实验一致的结果,为该类激光器的实用化提供了理论分析依据。
溴化亚铜激光器 径向温度分布 隔环式放电管 充氢机理 CuBr laser radial temperature distribution discharge tube with diaphragm hydrogen-filled mechanism
浙江工商大学信息与电子工程学院,浙江 杭州 310035
基于研制实用化CuBr激光器的目的,利用数值模拟的方法,结合实验数据,讨论了CuBr激光动力学中放电管等离子体参数变化与等离子体阻抗变化的内在联系,给出了CuBr激光管在不同放电电路各参数的表达式,与CuBr激光器动力学模型相结合,得到放电管等离子体阻抗动态演变的结果。得出放电管导通特性在不同放电线路组合中相同的结果,与实验结果完全一致。
激光物理 等离子体电阻 动力学模型 溴化亚铜激光器 laser physics plasma resistance kinetic model CuBr laser
为实现封离式CuBr激光器计算机的辅助设计,通过计算机数值计算的方法,利用CuBr激光管外电路放电参数表达式,结合CuBr激光器动力学模型及实验参数,模拟得到了脉冲放电期间激光放电管等离子体放电特性动态变化的规律,得出放电管导通特性与放电线路组合无关的结论,此结论与实验完全一致.
等离子体特性 数值分析 溴化亚铜激光器
给出了充氢CuBr激光放电管温度场的数学模型,获得了气体温度场径向分布解析式,给出了温度分布与输入电功率及缓冲气体热传导的关系。
溴化亚铜激光器 径向温度分布 充氢机理
1 杭州商学院信电系,浙江,杭州,310035
2 浙江大学物理系,浙江,杭州,310027
给出了充氢及隔环结构CuBr激光放电管温度场的数学模型,获得了气体温度场径向分布解析表达式,分析了充氢及隔环结构的温度分布特点,明确了温度分布与输入电功率及缓冲气体热传导的关系.
激光技术 溴化业铜激光器 径向温度分布 隔环式放电管 充氢机理 laser techniques CuBr laser radial temperature distribution discharge tube diaphragm mechanism of aide H2
1 杭州商学院信息电子系
2 浙江大学物理系,杭州310027
提出了隔环式CuBr激光放电管温度场的简单数学模型,获得了气体温度场径向分布的解析表达式,分析了这种结构对放电稳定性及激光光斑质量的影响。
溴化亚铜激光器 隔环式放电管 径向温度分布
介绍了卤化铜激光器的最新动向.回顾了卤化铜激光器的工作原理、工作物质的选择和工作方式的进展,讨论了高功率溴化工铜激光器的作用机制.展望了高功率、全封离溴化亚铜激光器的前景。
溴化亚铜激光器 掺氢
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
为了研究波长为255.3 nm的铜蒸气激光倍频光在亚微米光刻中的可行性,设计了带宽为1 nm的1:1折反射式投影光刻物镜和一个带散射板的光管式均匀照明系统,获得了0.6 μm的光刻分辨率。此结果表明,铜激光倍频光可作为亚微米光刻的照明光源。
远紫外光刻 亚微米光刻 光刻物镜 铜激光倍频光 均匀照明系统
1 中国科学院上海光机所, 上海 201800
2 上海大学嘉定校区射线应用研究所, 上海 201800
报道了一种具有252 nm吸收峰波长的光聚合物。在平均功率密度为1 mW/mm2的铜激光倍频光辐射30 min后,实验得到了尺寸为12×2.5×5(mm)的固体模型。
铜激光 倍频 固化