1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
2 武汉化工学院理学院,武汉 430073
研制成功便携式激光尘埃粒子计数器的核心部件——微型光学传感器。该传感器采用直角散射光收集形式,以高功率半导体激光器作为光源,同时采用高性能的PIN型光电二极管作为光电探测器。散射光收集系统为单一大数值孔径的球面反射镜,其对粒子散射光的收集角范围从20°到160°。粒子散射光信号是脉冲信号,其频谱成份主要在高频段,所以在PIN型光电二极管后用一个带通式前置放大器来消除外界的低频噪声,根据米氏散射理论计算了该光学传感器的光散射响应特性,并用聚苯乙烯标准粒子实测了该光学传感器的性能。结果表明,该系统具有高的信噪比、计数效率和尺寸分辨本领。
测量 光学传感器 粒径测量 计数效率
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 军事医学科学院微生物流行病研究所,北京 100071
利用光纤倏逝波原理,以输出波长为635 nm的半导体激光器为光源,研制成功一台具有5个探头的光纤生物传感器。该传感器5个光纤探头对纯净Cy5荧光染料溶液的检测灵敏度均达0.01 nmol/L,在同一浓度下信噪比的相对标准偏差小于10%,5个探头的信噪比曲线几乎重合,且与商品化生物芯片扫描仪同时检测得到的结果一致[检测到了抗原抗体特异性反应的动态过程。本传感器具有较高的检测灵敏度、良好的响应一致性和生物特异性,可用于多重生物物质的检测。
传感器技术 光学计量 生物传感器 倏逝波 蛋白质 实时荧光检测
中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
利用暗场成像原理,研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置,并在多程放大系统上进行了实验研究.与传统的检测手段相比,该检测装置可以实现对光学系统的在线检测,并可对损伤点的图像进行分析处理,最后提出通过减小像差和扩大检测范围的方法来改进该装置的检测效果.
光学元件 光学损伤检测 暗场成像技术 Optical elements Inspection of optics damage Dark-field imaging technology Large scale laser facility
1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 军事医学科学院微生物流行病研究所,北京,100071
以光纤倏逝波原理,研制成功一台光纤倏逝波生物传感器。该传感器对纯净的Cy5荧光染料溶液的检测灵敏度达0.01 μmol/l;对浓度为0.01 μmol/l的嗜肺军团菌核酸样品的测量信噪比为4.61。所有检测结果与商品化生物芯片扫描仪同时检测得到的结果具有很好的一致性。
光学计量 传感器技术 生物传感器 倏逝波 光纤 核酸
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
以半导体激光为光源,建立了一个可以实时测量空气中尘埃粒子的尺寸与颗粒数浓度的光学系统.根据Mie散射理论,计算了该光学系统的光散射响应特性.实验结果表明,该系统具有高的计数准确度、计数效率和计数重复性,适用于洁净度检测和环境空气中尘埃粒子的粒径分布测量.
光散射 粒子尺寸测量 粒子浓度测量
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
为了研究波长为255.3 nm的铜蒸气激光倍频光在亚微米光刻中的可行性,设计了带宽为1 nm的1:1折反射式投影光刻物镜和一个带散射板的光管式均匀照明系统,获得了0.6 μm的光刻分辨率。此结果表明,铜激光倍频光可作为亚微米光刻的照明光源。
远紫外光刻 亚微米光刻 光刻物镜 铜激光倍频光 均匀照明系统
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
报道用远紫外准分子激光进行亚微米光刻的实验结果。以波长为248.3 nm的KrF准分子激光为光源，以光管均匀器为主构成照明系统，采用带有平行平板为像差校正板的11折反射式投影光刻物镜，在两种光刻胶上分别获得了0.6 μm和0.5 μm的光刻分辨率。
准分子激光 激光光刻 亚微米光刻 光刻物镜
一米放电长度的全外腔He-Ne管,采用棱镜腔片和宽带输出耦合腔片获得633 nm, 612 nm,604 nm,594 nm和543 nm五条谱线的独立振荡。提供了研制全内腔绿色He-Ne激光器的实验依据。
谱线竞争 半棱镜腔片
本文报道新研制成功的GW大功率激光系统。使用双普克尔盒电光开关从混合型CO2激光振荡器中削出的激光窄脉冲通过一台三节双光程TEA CO2激光前置放大器和一台两节TEA CO2激光前置放大器、一台大口径TEA CO2激光放大器,最后通过一台电子束控制CO2激光放大器放大后输出。激光输出功率高达3.2×109W,脉宽为4ns。
TEA CO2激光器 电子束控制
实验研究了在大体积紫外光预电离的TEACO2激光器中用工业纯Ar部分取代He时,不同Ar取代比分对放电稳定性,激光输出能量的影响以及掺入少量正三丙胺后使放电稳定性得到一定改善的结果。
