基于密度泛函理论，采用了Dmol3模块对几种不同元素(Fe、Ni、Cu、Zn、Pd和Si)掺杂MoS2所形成的单原子催化剂的性能进行了第一性原理计算。首先分析了掺杂元素与载体之间的结合强度，发现Fe、Ni和Si与MoS2具有良好的结合稳定性。另外，分析了几种X-MoS2对CO催化氧化的性能，计算比较了对CO和O2的吸附能，遵循顺序如下：Pd＜Cu＜Ni＜Fe＜Si。其中，Si-MoS2表现出了优异的催化性质，对O2的吸附能最大且明显高于CO。通过E-R机理分析表明，这将有利于O2在催化活性位点被高效活化，保证下一步CO氧化反应的进行。通过局域态密度分析，与CO相比，在费米能级附近Si和O2产生的相互作用明显更强，其对O2的吸附作用也更强。Si掺杂MoS2具有成为CO氧化反应催化剂的潜力。