1 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049
3 低维半导体材料与器件北京市重点实验室,北京 100083
为研究氧化限制结构孔径对940 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)特性的影响,制备了不同氧化孔径的940 nm VCSEL,并进行了测试分析。通过PICS3D软件对不同量子阱势垒材料的增益进行仿真计算,选取具有较高有源区材料增益的InGaAs/AlGaAs作为量子阱,并开展了增益-腔模失配设计。在设计优化的基础上,制备了6种氧化孔径的940 nm VCSEL,对其光电输出特性进行测试。结果表明:氧化孔径为4 μm的VCSEL,室温下斜率效率为0.93 W/A,最大功率转换效率为40.1%;氧化孔径为7 μm的VCSEL,室温下最大输出功率为12.24 mW;氧化孔径为2 μm的VCSEL,室温下最大基横模功率为2.67 mW。该器件在2 mA连续驱动电流下,在10~80 ℃的范围内均可实现边模抑制比大于45 dB的基横模输出。
激光器 垂直腔面发射激光器 氧化限制结构 基横模 孔径 激光与光电子学进展
2023, 60(15): 1514003
红外与激光工程
2022, 51(5): 2021G007
李明 1,2,3李耀斌 1,2,3邱平平 1,2,3颜伟年 1,2,3[ ... ]阚强 1,2,3,*
1 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049
3 低维半导体材料与器件北京市重点实验室,北京 100083
研究了表面光栅结构对垂直腔面发射激光器(VCSEL)的偏振控制作用。引入表面光栅后,对不同刻蚀深度下的偏振相关的镜面损耗进行了仿真,结果表明表面光栅刻蚀深度在44~130 nm范围内均可实现稳定偏振,具有较大的工艺容差。表面光栅VCSEL在基横模工作状态下偏振抑制比(Orthogonal Polarization Suppression Ratio, OPSR)超过20 dB,偏振光谱峰间偏振抑制比达到40 dB,且在多横模状态也实现了有效的偏振控制。为了进一步验证光栅对偏振控制的效果,制作了方向互相垂直的两种表面光栅,具有这两种方向光栅的VCSEL的OPSR均达20 dB以上。测试分析表明表面光栅是VCSEL实现稳定偏振的一种有效手段。
垂直腔面发射激光器 表面光栅 偏振控制 偏振抑制比 vertical cavity surface emitting laser surface grating polarization control orthogonal polarization suppression ratio 红外与激光工程
2022, 51(5): 20210332
1 中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049
理论分析了内部损耗、内量子效率对激光器输出功率的影响,并采用PICS3D软件对852 nm法布里-珀罗(FP)激光器进行综合优化设计。设计的器件具有小远场发散角、低内部损耗和高内量子效率等特点,并在大电流下能够实现稳定的高功率输出。实验制备了基横模852 nm FP激光器,内部损耗小于1 cm-1,快轴发散角为42.3°,慢轴发散角为5.6°,未镀膜情况下的单边输出功率为115 mW。理论分析结果和实验结果表明,在增加波导层的厚度同时对波导层非掺杂可以降低载流子导致的光的吸收,减小激光器内部损耗。通过增大上覆盖层AlGaAs材料中的Al组分和掺杂浓度,可以有效地抑制载流子泄漏,确保激光器实现高内量子效率。
激光器 低内部损耗 高内量子效率 基横模 激光与光电子学进展
2022, 59(3): 0314001
1 厦门工学院电子信息与电气工程学院, 福建 厦门 361021
2 华侨大学信息科学与工程学院, 福建 厦门 361021
提出了一种基于石墨烯的中红外波段表面等离激元带阻滤波器结构。该结构由单层石墨烯周期性排列组成。数值仿真结果表明,石墨烯纳米带化学势的轻微改变会导致谐振波长的移动。此结构在中红外光谱范围内的敏感度达1100 nm/RIU,品质因数高达138,可用作高灵敏度的折射率传感器。
表面光学 表面等离激元 石墨烯 带阻滤波器 折射率传感器 有限元方法 激光与光电子学进展
2018, 55(1): 012401
1 华侨大学信息科学与工程学院, 福建 厦门 361021
2 中国科学院半导体研究所, 北京 100083
提出了一种复式晶格二维石墨烯等离子激元晶体结构, 该结构由包含4个石墨烯纳米盘的原胞周期性排列组成。通过有限元法迭代求解本征频率, 得到了石墨烯等离子激元晶体的能带结构和态密度。数值仿真结果表明, 所提出的结构存在完全光子带隙, 带隙宽度可达5.7 THz, 且其位置和带宽可以通过改变石墨烯的化学势来调谐。该结构可以应用在高密度表面等离子激元集成回路和等离激元片内交叉互联技术中。
表面光学 完全带隙 有限元方法 石墨烯 表面等离子激元 态密度 激光与光电子学进展
2017, 54(5): 052401