1 中国科学院西安光学精密机械研究所光电子部,西安,710068
2 西北大学分析测试研究中心,西安,710069
在X射线诊断成像方面,非晶硒(a-Se)是最有前途的探测材料之一.通过实验研究了a-Se合金膜的制备方法,用飞行时间方法测量了载流子的漂移迁移率和寿命,讨论了对a-Se合金膜性能有重要影响的因素.通过对400 μm厚a-Se合金膜X 射线光电流的测量,确定了a-Se合金膜对X射线的光电响应特性.实验表明,a-Se合金膜具有线性的光电转换特性;灵敏度与场强有关.在10 V/μm场强下,对于医疗诊断常用的轫致辐射X射线谱,用X射线在a-Se合金膜中产生一电子-空穴对约需45 eV的能量.
非晶硒合金 X射线成像 飞行时间 X射线光电流 灵敏度
