重庆京东方光电科技有限公司 光刻工程部，重庆 400700
在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT)TFT工艺技术中，Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比，在进行栅极(Gate)制程时Cu容易发生腐蚀，这会降低产品良率。本文结合ADS(Advanced Super Demension Switch)显示模式下0+4掩膜板(mask)技术的Gate刻蚀制程和1+4掩膜版技术Gate光刻胶(Photo Resist，简称PR)剥离制程的Cu腐蚀现象进行分析，结合实验验证，确定Cu腐蚀原因，最终提出改善方案。实验结果表明：0+4mask技术的Gate制程中，ITO刻蚀液所含的HNO3会使MoNb/Cu结构电极的Cu发生电化学腐蚀；将电极结构更改为单Cu层则可以避免电化学腐蚀。在1+4mask技术的PR剥离(Strip)制程中，基板经历的剥离时间长或进行多次剥离或在剥离设备中停留，均会引起Cu腐蚀；增加剥离区间与水区间空气帘(Air Curtain)吹气量、增加TFT基板在过渡区间(H2O与剥离液接触的区间)的传输速度，管控剥离液使用时间等措施可以缓解Cu腐蚀。
Cu电极 Cu腐蚀 电化学效应 刻蚀工艺 剥离工艺 Cu electrode Cu corrosion Galvanic effect etch process strip process
中国矿业大学环境与测绘学院, 江苏 徐州 221116
为了满足高精度的室内位置服务需求，提出了一种利用K-means聚类改进的迭代最近点(ICP)算法来构建结构化的二维室内地图。通过对二维激光扫描仪获取的点云数据的聚类分析，将每一帧的数据进行聚类，并通过几何中心的平移对点云数据进行预配准，利用聚类及预配准的结果对点云数据进行精确配准得到全局最优解。聚类改进的ICP算法相比于传统的ICP算法，在仅使用单一的二维激光扫描仪采集的点云数据为数据源时，能获得较高精度的配准结果。实验表明，该算法具有适用性强、配准精度高等优点，有助于在单一传感器下快速、精准地构建室内地图。
测量 迭代最近点 K-means聚类 点云配准 室内地图 激光与光电子学进展
2016, 53(5): 051202
1 湖南科技大学,机械设备健康维护省重点实验室,湖南,湘潭,411201
2 武汉理工大学,机电工程学院,湖北,武汉,430070
在微操作中,显微视觉系统获取的图像通常是离焦模糊图像.根据最小二乘原理和回归模型设计自适应滤波器,用于消除图像噪声,提高图像的信噪比;离焦模糊图像的退化模型可用圆盘函数描述,利用模糊图像频域的零点位置来估计圆盘函数的模糊参数;采用基于简化Wiener滤波的逆滤波器方法对模糊图像进行复原.对算法进行了仿真和实验分析,结果表明,该方法能够以较少的运算时间代价获取较好的复原效果.
离焦图像 图像复原 自适应滤波 逆滤波器 Wiener滤波
