调焦调平测量系统(FLMS),实时测量硅片曝光视场区域与投影物镜焦面的相对位姿,其测量准确度影响光刻机曝光成像质量。调焦调平测量采用大入射角将3个以上的探测光斑投影到硅片曝光视场区域实现对硅片高度和倾斜的测量。如果光斑位置存在误差,就会引起硅片测量准确度误差,进而造成硅片曝光视场区域离焦,影响曝光成像质量。根据调焦调平单点几何测量模型,建立了光斑位置误差模型。研究结果表明,调焦调平单光斑的测量高度误差与光斑水平位置误差成正比,经调整调焦调平的零平面与焦面近似平行,并精确校准光斑水平位置误差到0.05 mm,其造成的测量误差最大为10 nm。

目的 探讨激光微创治疗下肢静脉曲张疾病的适应证和手术方法.方法 大隐静脉曲张患者420例(525条肢体),其中单纯性大隐静脉曲张324例(422条肢体),下肢深静脉瓣膜功能不全96例(103 条肢体).分别采用单纯激光治疗、激光加小切口静脉团点状剥脱和激光治疗联合股浅静脉戴戒术.结果 患者术后恢复良好.患肢无切口的有126条(占24.0%),小腿仅有1～3个1.0～2.0 cm小切口的有216条(占41. l%),大腿根部有切口(包括103条做戴戒术的肢体)的183条肢体(占34.8%).随访3～40个月,共随访380例(占90.5%),单纯性大隐静脉曲张者术后有27条肢体复发(复发率6.4%),下肢深静脉瓣膜功能不全者术后有8条肢体复发(复发率7.8%).结论 激光微创治疗下肢静脉曲张疾病手术简单、创伤小,基本不影响下肢的美观,易为患者接受.术者应掌握好手术适应证和合理地选择手术方法.