红外与毫米波学报
2022, 41(6): 1009
1 中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 山东大学 信息科学与工程学院, 山东 济南 250100
针对化学机械抛光工艺对碲镉汞材料所产生的亚表面损伤层进行了研究。利用椭圆偏振光谱方法对经过腐蚀剥层的碲镉汞材料表面进行了光学表征, 认为化学机械抛光工艺造成的亚表面损伤层的深度大概为抛光工艺中所使用研磨颗粒直径的15~20倍。通过少子寿命表征和光导器件性能的对比测试, 认为将该亚表面损伤层完全去除后, 材料的少子寿命和器件的光电性能会得到明显的提高。
化学机械抛光 亚表面损伤 椭圆偏振 少子寿命 碲镉汞 chemical-mechanical polishing sub-surface damage spectroscopic ellipsometry minority carrier lifetime HgCdTe 红外与激光工程
2016, 45(12): 1204001
