1 厦门大学 电子工程系 微纳光电子研究室, 福建 厦门 361005
2 洛阳光电技术研究中心, 河南 洛阳 471009
采用严格数值算法对中红外硅微透镜阵列进行了模拟, 该微透镜阵列特征尺寸小于波长工作波长.研究发现该微透镜阵列存在一个显著的离焦效应, 其离焦量达到0.4左右, 超出了现有的传统理论模型预测范围.对微透镜阵列进行了制作和焦距测试, 发现测试结果跟数值模拟基本吻合.微纳衍射光学集成系统中透镜离焦量是系统集成非常重要的一个参数, 该研究结果为硅微透镜阵列和中红外探测器光学集成提供有效参考.
亚波长结构 红外探测器 离焦 微透镜阵列 sub-wavelength structure FDTD FDTD infrared detector focal shift microlens array
1 哈尔滨工业大学 机电工程学院 精密工程研究所, 黑龙江 哈尔滨 150001
2 中国空空导弹研究院, 河南 洛阳 471009
3 哈尔滨工业大学 航天学院 光电子技术研究所, 哈尔滨 黑龙江 150080
为了实现新型红外陶瓷ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工, 首先根据ALON的材料属性和高陡度薄壁保形非球面的结构特性, 进行了其超精密磨削加工工艺性分析, 并基于有限元计算方法, 完成了面向ALON高陡度薄壁保形非球面的精密夹具的设计以及关键参数的优化。然后完成了ALON的超精密磨削工艺实验, 工艺实验结果表明减小工件转速和砂轮粒度都会降低ALON的平均表面粗糙度Ra值, 但砂轮粒度对磨削后ALON的表面粗糙度影响更显著。最后实现了ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工, 磨削后的ALON高陡度薄壁保形非球面的面形精度PV值为2 μm, 表面粗糙度Ra值可达8.6 nm。
高陡度薄壁结构 保形非球面 超精密磨削 夹具设计 high-gradient thin structure conformal aspheric ALON ALON ultra-precision grinding jig design
红外双波段成像探测器能接收目标和干扰源在两个波段上的辐射能量。从普朗克黑体辐射定律出发，根据MATLAB软件模拟出的目标和干扰源的辐射特性来选择SW/MW两个红外波段。首先利用仿真程序计算InSb面阵探测器对于点黑体和面黑体的响应结果，由计算结果和测试结果较好的一致性，说明设计的MATLAB仿真程序具有实用性。再从实际研制的HgCdTe128×128叠层式双波段器件结构考虑，通过一定的变换，利用仿真程序对HgCdTeSW/MW双波段成像探测器进行参数性能仿真，达到利用成像及双色比来区分目标和干扰的目的。
双波段 叠层式结构 双色比 dual band MATLAB MATLAB HgCdTe HgCdTe pixels are stacked dual band ratio
随着红外空空导弹的发展,红外光学材料单晶硅得到了广泛的应用.介绍了单晶硅材料加工透镜的工艺过程,着重研究了硅透镜的抛光技术,通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了加工硅透镜的最佳工艺匹配条件.实验结果表明:使用SiO2胶体配制的抛光液(PH10～11)及用抛光布制成的抛光模,采用机械-化学方法抛光出的零件表面疵病达到Ⅲ级(GB 1185-74),并能够通过修改抛光模控制光圈及光圈误差,加工出的硅透镜满足导弹光学系统的要求.
单晶硅 表面疵病 精磨 机械-化学抛光
