1 Instrumentation Division, Brookhaven National Laboratory, Upton, NY.11973, U.S.A
2 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
本文报道一套光学结构用于同步辐射反射镜表面轮廓高精度大面积的测量。采用了光学外差测量与接收技术,以伺服聚焦双折射透镜组分离“o”光与“e”光的聚焦区域,并再共轴组合比较其相位差,从而获得表面起伏的误差值。线性运动的测量工作台使镜面可测量范围从数微米到一米,而最小起伏量及曲率可达很高的测量精度。
轮廓仪 光外差技术 同步辐射反射镜
基于光盘的读写原理,提出了采用弹性支承振动台代替光盘系统中精密回转台,以实现在没有自动调焦和轨迹跟踪伺服系统情况下对光盘记录介质进行动态检测的简单方法。以TeSeIn相变光盘记录介质为例进行了检测,结果表明这种方法是简单可行的。
光盘记录介质 读写特性 光学检测
