1 Instrumentation Division, Brookhaven National Laboratory, Upton, NY.11973, U.S.A
2 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
本文报道一套光学结构用于同步辐射反射镜表面轮廓高精度大面积的测量。采用了光学外差测量与接收技术,以伺服聚焦双折射透镜组分离“o”光与“e”光的聚焦区域,并再共轴组合比较其相位差,从而获得表面起伏的误差值。线性运动的测量工作台使镜面可测量范围从数微米到一米,而最小起伏量及曲率可达很高的测量精度。
轮廓仪 光外差技术 同步辐射反射镜
