作者单位
摘要
西安交通大学电气工程学院,陕西 西安 710049
氢气作为一种可持续、无污染的新型绿色能源,在现代工业中受到了广泛关注。但在存储和使用过程中,氢气容易发生泄漏并引发爆炸,因此对其体积分数进行检测非常重要。为此,提出一种基于钯(Pd)修饰六方氮化硼(hBN)薄膜的新型探针式光纤氢气传感器。讨论hBN薄膜的机械和光学特性,指出其作为Fabry-Perot(F-P)干涉仪反射膜在机械、光学、氢气吸附/脱附速度等领域所具有的显著技术优势;研究hBN表面敷Pd的工艺过程;设计以Pd修饰hBN薄膜为反射膜的光纤F-P腔结构并研究其制备工艺。实验结果表明,所设计的传感器在氢气体积分数为0.02%~0.5%时的检测灵敏度为0.58 pm/10-6,对体积分数为0.1%的氢气的响应时间为60 s,且具有重复性好等特点。该传感器结构紧凑、耐腐蚀,在电力变压器油中氢气检测等方面具有潜在的技术优势。
传感器 氢气体积分数 氮化硼 Fabry-Perot干涉 在线测量 
光学学报
2023, 43(22): 2228001
作者单位
摘要
哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心, 黑龙江 哈尔滨 150001
研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法,实现了干涉仪的光学4细分结构,提高了测量灵敏度;构建4路正交探测结构,实现了干涉仪的无源偏振调制,扩大了干涉仪测量范围;采用光路集成化的设计方法,实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究,结果表明,静态位移测量误差小于±0.3 nm,振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2;上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点,可被广泛用于纳米测量的各个领域。
测量 激光干涉仪 纳米测量 差动干涉 光路集成化 
中国激光
2011, 38(4): 0408001

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