利用多光束激光输出耦合叠加是一种提高激光器输出功率的有效方法。采用两束矩形激光对准系统, 分析两光束不同对准情况下的焦斑特性。完全对准的情况下, 两束光的远场焦斑重合在一起, 焦斑能量是两光束能量之和。在实际光束对准系统中, 讨论了三种常见的对准误差, 并比较了这些误差对焦斑特性的影响。利用ZEMAX软件对设计系统进行了模拟分析, 并进行了实验验证。结果表明, 元件的位置误差会使远场焦斑能量集中度降低, 焦斑半径增大。
高功率激光 能量叠加 对准精度 焦斑半径 能量集中度 high-power laser energy superposition alignment accuracy focal spot radius energy concentration
中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
对地球模拟器进行光学精密校准是保证双圆锥扫描红外地平仪单机地面性能测试的必要前提。采用两台电子经纬仪建立三维坐标实时测量系统, 实现对双圆锥扫描红外地平仪地球模拟器的精密光学校准。根据理论设计值作为参考值, 与实际测量值进行比较, 反复放样测量, 进而调整地球模拟器的冷热边界, 调校精度可使地球模拟器边界特征点坐标的定位误差控制在 0.2 mm之内。高精度位置控制保证了双圆锥扫描红外地平仪高精度的噪声等效角性能测试, 可以保证噪声等效角 (3σ)控制在 0.07°以下。
光学精密校准 三维坐标实时测量系统 校准精度 红外地平仪 optical precision calibration real-time three-dimensional coordinate measurement alignment accuracy infrared horizon seekers
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，西安 710049
压印光刻中套刻需要粗、精两级对正．实验采用一对斜纹结构光栅作为对正标记．利用物镜组观察光栅标记图像的边界特征进行粗对正，其准确度在精对正信号的捕捉范围内；利用光电接收器件阵列组合接收光栅莫尔信号，在莫尔信号的线区进行精对正．由于线性区的斜率大，精对正过程中得到相应x，y方向的对正误差信号灵敏度高，利用高灵敏度对正误差信号作为控制系统的驱动信号，对承片台进行驱动定位，实现精对正．最终使X，Y方向上的重复对正准确度分别达到了±21 nm(±3σ)和±24 nm(±3σ)．
压印光刻 对正准确度 光栅 莫尔信号 粗对正 精对正 Imprint lithography Alignment accuracy Grating Moiré signal Coarse alignment Fine alignment
1 Department of Electronic Engineering,Yangzhou University, Yangzhou 225009, China
2 Department of Information Network Engineering,Aichi Institute of Technology,Toyota 470-0392, Japan
Chinese Journal of Lasers B
2001, 10(4): 257
