中国计量大学工业与商贸计量技术研究所，杭州 310018
本文对非正交光栅莫尔信号细分方法展开研究，提出了基于信号采集、预处理和细分架构的非正交光栅莫尔信号数字细分的方案，在FPGA平台上完成32?512倍信号细分。针对电路系统中信号幅值比和采样率参数进行分析，建立了莫尔信号幅值偏差的数学模型，明确信号幅值比k与周期细分数N的量化关系，实验证明，信号幅值偏差补偿要求随细分值增加而逐渐增高。建立了信号频率/采样率的数学模型，明确信号频率与采样率之比f/fs与周期细分数N的量化关系，实验证明，信号频率与采样率之比随细分值增加而逐渐降低。
非正交偏差 光栅莫尔信号 数字细分 幅值比 采样率 non-orthogonal deviance grating moiré signal digital subdividing amplitude ratio sampling fre-quency
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，西安 710049
压印光刻中套刻需要粗、精两级对正．实验采用一对斜纹结构光栅作为对正标记．利用物镜组观察光栅标记图像的边界特征进行粗对正，其准确度在精对正信号的捕捉范围内；利用光电接收器件阵列组合接收光栅莫尔信号，在莫尔信号的线区进行精对正．由于线性区的斜率大，精对正过程中得到相应x，y方向的对正误差信号灵敏度高，利用高灵敏度对正误差信号作为控制系统的驱动信号，对承片台进行驱动定位，实现精对正．最终使X，Y方向上的重复对正准确度分别达到了±21 nm(±3σ)和±24 nm(±3σ)．
压印光刻 对正准确度 光栅 莫尔信号 粗对正 精对正 Imprint lithography Alignment accuracy Grating Moiré signal Coarse alignment Fine alignment
