介绍了上海光源硬X射线微聚焦光束线站（BL15U1）的高精度样品定位系统。 该系统由离线样品显微镜系统、 在线样品实验系统和高精度定位样品架三部分组成。 通过编译控制程序、 样品架定位、 坐标转换， 将样品的在线X射线荧光成像实验和离线显微镜观察进行有效结合， 首次在国内同步辐射装置上实现样品在微米范围内的快速离线定位。 该系统帮助科研工作者在利用微束X射线研究物质微区特征时， 快速准确地寻找微区研究对象。 利用金网进行X射线荧光成像实验， 对比离线高倍显微镜下金网各结点的坐标， 对样品定位系统的精度进行验证。 结果表明， 该样品定位系统在X方向的平均误差为1.3 μm， Z方向的平均误差为2.5 μm。 该系统不仅简便快速、 准确可靠， 节约宝贵的实验时间， 也为同步辐射微聚焦线站开展样品自动对焦方法提供技术前提。