1 中国科学院上海应用物理研究所, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 中国科学院上海高等研究院上海同步辐射光源先进成像与工业应用研究部, 上海 201204
设计和加工了一台相位补偿的压电变形镜,使用干涉仪离线表征了其压电变形性能,并提出迭代全局优化算法,实现了变形镜对目标面形的快速高精度逼近。结合X射线散斑扫描技术,在光束的聚焦模式下测试了变形镜的在线相位补偿性能和对聚焦光斑尺寸的优化能力,结果显示,初始的43.4 μm焦斑尺寸经相位补偿后被压缩到了12.9 μm。上述研究为上海同步辐射光源的快速相位补偿提供了可能。
X射线光学 X射线变形镜 相位补偿 X射线散斑扫描技术 硬X射线聚焦 同步辐射
介绍了上海光源硬X射线微聚焦光束线站(BL15U1)的高精度样品定位系统。 该系统由离线样品显微镜系统、 在线样品实验系统和高精度定位样品架三部分组成。 通过编译控制程序、 样品架定位、 坐标转换, 将样品的在线X射线荧光成像实验和离线显微镜观察进行有效结合, 首次在国内同步辐射装置上实现样品在微米范围内的快速离线定位。 该系统帮助科研工作者在利用微束X射线研究物质微区特征时, 快速准确地寻找微区研究对象。 利用金网进行X射线荧光成像实验, 对比离线高倍显微镜下金网各结点的坐标, 对样品定位系统的精度进行验证。 结果表明, 该样品定位系统在X方向的平均误差为1.3 μm, Z方向的平均误差为2.5 μm。 该系统不仅简便快速、 准确可靠, 节约宝贵的实验时间, 也为同步辐射微聚焦线站开展样品自动对焦方法提供技术前提。
硬X射线微探针 高精度样品定位 坐标转换 Hard X-ray microprobe High accuracy sample positioning Coordinate transformation