作者单位
摘要
上海师范大学 信息与机电工程学院,上海 201418
针对传统Prandtl-Ishlinskii(PI)模型不能反映压电式气体比例阀迟滞非对称特性而导致其补偿控制精度难以提高的问题, 提出了一种改进的PI模型, 通过添加3次多项式使其能拟合压电式气体流量比例控制阀的非对称迟滞曲线。利用改进的自适应粒子群遗传算法辨识所需的模型参数, 模型相对误差为0.007 3%, 并将模型用于前馈补偿控制。实验结果表明, 基于迟滞模型的前馈补偿控制可显著提高压电式气体比例阀输出流量控制的快速性, 调节时间降低了60%。
压电式气体比例阀 迟滞非线性 PI模型 前馈补偿器 piezoelectric gas proportional valve hysteresis nonlinear PI model feedforward compensator 
压电与声光
2022, 44(4): 662
作者单位
摘要
1 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
2 苏州科技大学, 江苏 苏州 215009
3 苏州维纳仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
4 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
为了减少相移干涉仪中压电陶瓷致动器进行相移时,其迟滞非线性对相移算法中的相位计算带来的误差,设计了一套压电陶瓷致动器的控制系统.利用高精度电阻应变传感器和基于锁相放大原理的信号调理电路检测压电陶瓷致动器位移,建立多项式数学模型描述迟滞非线性,然后提出了一种前馈开环控制方法补偿其迟滞非线性.最后,基于所提出的方案对压电陶瓷致动器进行了期望轨迹的跟踪控制实验,同时将补偿控制系统与干涉仪相结合检测光学元件表面形貌.实验结果表明:补偿后,压电陶瓷致动器的跟踪误差在-0.156 μm与+0.078 μm之间,迟滞非线性度由10.4%降到2.4%,且干涉仪所测得的光学元件表面面形起伏高度均方根和峰谷分别改变了0.795 nm和3.937 nm.该系统对于高精度的光学元件形貌检测具有重要的意义.
相移干涉仪 相位 压电陶瓷致动器 迟滞非线性 形貌检测 Phase-shifting interferometer Phase Piezoelectric ceramic actuator Hysteresis nonlinear Surface morphology 
光子学报
2020, 49(6): 0612001
作者单位
摘要
华中光电技术研究所-武汉光电国家研究中心, 湖北 武汉 430223
分析了PFSM的迟滞非线性特性和蠕变特性对控制精度的影响, 提出将XGBoost模型应用于PFSM的动态迟滞非线性特征建模。通过提取PFSM的加压历史特征, 有效地解决了迟滞非线性中数据一对多的问题, 提取的特征包括电压的电压值、变化频率、变化方向、电压增量、历史局部极大值与局部极小值和时间间隔等。仿真结果表明, 此模型可以对迟滞非线性特性和蠕变特性有较好的拟合效果, 相对于静态PI模型, 拟合精度提高了约40 μrand。同时具有模型参数容易识别、易移植到嵌入式芯片等优点。该动态迟滞非线性特征建模方法有理论意义和实用价值。
压电式快速倾斜镜 XGBoost模型 迟滞特性 蠕变特性 特征提取 piezoelectric fast steering mirror XGBoost model hysteresis nonlinear characteristics creep characteristics feature extraction 
光学与光电技术
2020, 18(1): 91
作者单位
摘要
华侨大学 机电及自动化学院, 福建 厦门 361021
探究压电陶瓷的迟滞非线性规律, 为进一步修正迟滞非线性提供参考依据和理论基础。通过实验测量得到迟滞模型并对实验数据分析, 拟合出上升轨迹的修正直线, 求出其在相同位移下与上升、下降轨迹的电压差作为补偿电压, 发现两条轨迹采样点上的输入电压与补偿电压满足近似多项式关系; 分别选定5, 10和15 V不同步长进行驱动实验。实验结果: 上升轨迹(下降轨迹)多项式参数R-square=0.999 2(0.999 9), RMSE=0.083(0.080 86); R-square=0.999 7(0999 9), RMSE=0.057 39(0.094 99); R-square=0.995 2(0.999 8), RMSE=0.291 6(0.165 5)。实验结论: 两条轨迹的R-square近似为1, RMSE较接近0, 重复性误差在1.13%~2.63%, 输入电压与补偿电压满足近似多项式关系, 拟合程度和匹配性较高, 且重复性较好, 具有可预测性, 从而为进一步修正压电陶瓷驱动器的迟滞非线性提供了参考依据和理论基础。
压电陶瓷驱动器 迟滞非线性规律 多项式关系 重复性 可预测 piezoelectric ceramic driver hysteresis nonlinear law polynomial relationship repeatability 
光学 精密工程
2019, 27(8): 1793
作者单位
摘要
1 杭州电子科技大学 机械工程学院, 浙江 杭州 310018
2 杭州浙大精益机电技术工程有限公司, 浙江 杭州 310027
针对超磁致伸缩致动器(GMA)在精密致动控制中存在的迟滞和位移非线性,提出了小脑神经网络(CMAC)前馈逆补偿结合模糊PID控制的新策略.通过小脑神经网络(CMAC)学习获得超磁致伸缩致动器动态逆模型用于对超磁致伸缩致动器迟滞非线性进行补偿;利用模糊PID控制降低小脑神经网络(CMAC)学习时的误差和抑制扰动,提高系统的跟踪控制性能,从而实现超磁致伸缩致动器的精密致动控制.仿真和实验结果表明:所采用的控制策略有效地消除了迟滞非线性的影响,系统的跟踪误差降低到了5%以下,而位移跟踪误差均方差仅为0.58.此外,这种策略的特点是学习和控制同时进行,控制系统能够适应被控对象动态特性的变化,使系统具有较强的鲁棒性,同时也能够有效地抑制外界的干扰,提升系统的自适应控制性能.
超磁致伸缩致动器 迟滞非线性误差 小脑神经网络 前馈逆补偿控制 模糊PID控制 Giant Magnetostrictive Actuator(GMA) hysteresis nonlinear error Cerebellar Model Articulation Controller(CMAC) feed forward inverse compensation control fuzzy PID control 
光学 精密工程
2015, 23(3): 753

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