北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022
介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺.该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术.对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号.
微机械 红外探测器 非制冷 红外吸收气体 Micromachine Infrared detector Uncool Infrared sensitive gas
