北京工业大学,电子与信息控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的.这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇).从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐蚀系统,分别制作出了约1μm厚的平整超薄硅膜,并研究了不同掩膜材料在腐蚀液中的抗蚀性,为高灵敏度红外探测器的制作奠定了工艺基础.
超薄硅膜 各向异性腐蚀 高灵敏度红外探测器 Very thin Si membrane Anisotropic etching High sensitivity infrared detector
北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京光电子技术实验室,北京,100022
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器.当密闭腔内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小.采用微机械技术制作的探测器,对8-14μm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW.
红外探测器 微机械 弹性敏感薄膜 红外吸收气体
北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022
介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺.该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术.对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号.
微机械 红外探测器 非制冷 红外吸收气体 Micromachine Infrared detector Uncool Infrared sensitive gas
