Key Laboratory of Optoelectronics Technology, Ministry of Education, Faculty of Information Technology,Beijing University of Technology, Beijing 100124, China
北京工业大学信息学部，光电子技术省部共建教育部重点实验室，北京 100124
采用光刻胶热熔法制作具有特定尺寸的微透镜，制作的微透镜能将微透镜阵列技术应用于短波1 μm ~3 μm红外探测器中，有效地提高探测器件的光电性能。采用AZ P4620厚光刻胶，利用紫外光刻技术，对透镜制作中的前烘、曝光和显影、坚膜、热熔等工艺进行了深入细致的实验研究，确定了最优的工艺参数，实现了球冠直径在(5.5±0.5) μm，曲率半径3 μm的微透镜，且透镜有很好的均匀性和一致性，满足近红外探测器件的要求。
微透镜阵列 光刻胶热熔法 前烘 热熔 microlens array melting photoresist pre-baking hot melt
1 哈尔滨工业大学 航天学院,哈尔滨 150001
2 中航工业江西洪都航空工业集团660所, 南昌 330024
基于双干扰光路红外干扰模拟器的光束扩束技术, 设计了微透镜阵列扩束系统, 利用光刻胶热熔技术对微透镜阵列进行加工并对干扰模拟系统的能量收集效率进行测试.实验结果表明两干扰光路的能量收集效率分别为27.3%和26.9%, 与设计结果30.8%基本符合；验证了微透镜阵列作为扩束元件在红外干扰模拟器中的应用价值, 为红外成像仿真技术及多干扰光路红外成像目标模拟器的工程化研究提供了参考.
红外干扰模拟器 微透镜阵列 扩束 光能收集效率 光刻胶热熔 Infrared jamming simulator Microlenses array Beam expander Light energy collection efficiency Melting photoresist
1 南京航空航天大学自动化学院, 江苏 南京 210016
2 南昌航空大学测试与光电工程学院, 江西 南昌 330063
3 华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430074
利用聚合物SU-8光刻胶在激光作用下折射率会发生变化的特点，将其作为最后的光学材料，采用光刻胶热熔法和图形转移法，设计并制作了填充因子接近0.75、自写入光波导、六角排列的微透镜阵列。对阵列的表面形态、三维结构和光学性能分别进行了观察、测试与分析，发现用SU-8胶制作的微透镜阵列外观良好，边缘清晰；自写入光波导微透镜阵列的三维结构良好；波导末梢的光点分布均匀，光强一致性高。这种自写入光波导的微透镜阵列降低了透镜阵列与探测阵列精确装配的难度，而且其制作工艺流程简单、成本低廉、适合批量复制，这种阵列元件还有质量轻、体积小的特点，有很广的应用前景。
光学器件 微光学元件 聚合物微透镜阵列 光刻胶热熔法 SU-8胶 自写入
