王栎皓 1,2,3付登源 1,2,3赵俊元 1,2,3赵松庆 4,5[ ... ]杨晋玲 1,2,3,**
1 中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，北京 100083
2 中国科学院大学材料科学与光电工程中心，北京 100049
3 传感器技术国家重点实验室，上海 200050
4 中国空空导弹研究院，河南 洛阳 471009
5 航空制导武器航空重点实验室，河南 洛阳 471009
针对半实物仿真系统的需求，基于系统级封装技术提出了一款由垂直腔面发射激光器（VCSEL）激光器阵列、激光器驱动芯片、电源芯片等组成的微系统，并介绍了基于微机电系统微纳加工技术的VCSEL激光器阵列的制造工艺流程。该激光器的封装方法具有集成度高、可靠性高等特点，相比于其他驱动及封装方法大大提高了驱动效率和空间利用率，因此在光学成像、通信、互联等领域具有广泛应用前景，为实现半实物仿真中激光成像发生器奠定了基础。
激光光学 激光器阵列 垂直腔面发射激光器 系统级封装 微系统 微机电系统 微纳加工 激光与光电子学进展
2021, 58(21): 2114011
光电信息控制和安全技术重点实验室, 天津 300308
新型材料、先进集成封装技术和新型微架构的不断涌现, 促使光电领域装备向轻量化、智能化、一体化方向发展。微系统所带来的性能和功耗改进, 使装备的全面/跨代升级成为可能, 具有重要的**应用前景。文中关注微系统在光电领域的应用, 梳理现阶段各研究机构在半导体及光频微系统领域的规划部署, 并对光频微系统的**应用前景进行展望。
光频微系统 微集成技术 异质异构集成 光学相控阵 optical frequency micro-system micro-integration technology heterogeneous integration optical phased array
光电信息控制和安全技术重点实验室, 天津 300308
微系统技术是以微纳尺度理论为支撑, 微集成工艺为基础, 并通过功能模块集成, 实现单一或多种用途融合的综合性前沿技术。应用微系统技术对加速光电系统性能的全面提升、有效降低成本具有重要意义。以2019年度微系统领域关键技术进展为基础, 讨论目前光电领域微系统技术的难点问题, 为该领域研究人员提供参考。
微系统技术 微传感器 微处理器 微集成技术 micro-system technology micro-sensor micro-processor micro-integration technology
1 安徽大学电气工程与自动化学院,安徽 合肥 230039
2 中国科学院环境光学与技术重点实验室,安徽 合肥 230031
基于CO2 在4.26 μm处的特征吸收,采用抽取式密闭小型怀特池以及热电传感器, 设计了一种微型CO2 气体检测系统,并进行了实际测量,反演了CO2 浓度,相关性达到0.99973, 最低检测CO2 浓度为1 ppm。此系统结构简单,运行稳定,避免了光学轮盘调制方式的复杂结构, 减小了开放式结构对探测器带来的不稳定影响。
光谱学 热电效应 微型系统 CO2 检测 spectroscopy thermoelectric effect micro system carbon dioxide detection
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027
微光学技术是90年代发展起来的光电学科前沿技术,是光电技术列阵化、微型化、智能化的主要发展方向.微光学技术已经在光通讯、光开关、光扫描、光互连中得到应用.文中就微光学的二元光学、衍/折混合光学、微透镜阵列的原理、工艺方法、主要应用、发展趋势以及我们的研究进行叙述.
微光学 微结构 微系统 Micro-optics Microstructure Micro-system
