作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所,北京 100094
2 中国科学院大学,北京 100049
纸币是国家发行并强制使用的货币符号,2019年中国人民银行发行的2019年版第五套人民币纸币,两面采用了抗脏污保护涂层,使纸币的整洁度明显改善。作为“国家名片”,在纸币生产过程中,对每一道工艺都有严格的质量控制,涂层是通过涂布机将涂布液转移、固化至纸币两面,由此称为涂布工艺。为了更加合理地控制涂布质量,生产中需要检测纸币涂层的厚度。针对该需求,文中建立了纸币图纹作为复杂衬底的涂层厚度光学漫反射模型,采用傅里叶近红外光谱仪和激光共聚焦显微系统对已涂布和未涂布的纸币进行识别并定量检测。文中首先根据涂层物质在近红外光谱可被有效识别的特点,对涂层的近红外吸收光谱数据提出了基于多元散射校正(MSC)与二阶导组合的分析方法,确定4 346.764 cm−1为特征波数。再根据反射率、粗糙度对涂层厚度的模型解耦,最后通过激光共聚焦显微系统检测了已涂布纸币的涂层变化,并将其与模型的厚度解耦结果关联,得出测量涂层厚度最小为3.807 μm,最大为12.738 μm。最终结果表明该检测方法对纸币生产中涂层质量控制具有重要的实践指导意义。
涂层厚度 近红外吸收光谱 多元散射校正 二阶导数光谱 激光共聚焦 coating thickness NIR absorbance spectroscopy multivariate scattering correction second-order derivative spectrum confocal laser scanning microscopy 
红外与激光工程
2022, 51(12): 20220156
作者单位
摘要
中国海洋大学光学光电子实验室, 山东 青岛 266100
激光诱导击穿光谱(LIBS)对固体进行检测时, 受固体的表面物理形态和化学特性影响较大, 因此, 基体效应分析对LIBS在线检测研究有重要的意义。 为了提高LIBS对表面凹凸不平样品成分在线检测的准确度, 进行了LIBS对不同颗粒度铁屑样品的定量分析。 实验所用的9种铁屑样品性状为松散的粉末、 颗粒或长条状, 为防止激光与样品相互作用时发生飞溅, 将样品粘到双面胶上进行固定。 采用的激发波长为1 064 nm、 脉冲能量为35 mJ, 探测器延时和积分门宽分别设置为1和10 μs。 为评估样品颗粒度不同导致的基体效应对LIBS光谱的影响, 首先, 利用主成分分析(PCA)对系列样品进行分类, 结果显示, 粉末状的四个样品被分出, 即颗粒度不同导致的基体效应是样品光谱信号差异的主要原因。 其次, 以C3、 C5两个样品研磨前后的基体元素特征谱线FeⅠ330.635 nm为研究对象, 通过对比谱线的强度和相对标准偏差(RSD)发现, 颗粒度越小, 谱线强度越大, 稳定性越好。 为校正LIBS光谱基体效应的干扰, 采用了样品研磨预处理和光谱数据预处理两种方法。 将细长条状的C3和C5两个样品进行研磨, 研磨后谱线的强度和稳定性有较大提升; 分别研究了强度归一化、 多元散射校正(MSC)以及两者结合对光谱进行处理的效果, 三种光谱预处理均使谱线的稳定性得到显著提高。 通过支持向量机(SVM)对Cu元素的定量结果进行了评估和对比, 结果发现, 采用研磨样品并结合强度归一化与MSC预处理得到的校正效果最优, 最终使S1和S2两个待测样品的Cu元素预测相对误差(RE)分别降为1.745%和1.857%, 预测均方根误差(RMSEP)降为0.020。 该研究可为表面凹凸不平样品的LIBS检测提供一定的方法依据和参考。
激光诱导击穿光谱 颗粒度 基体效应 多元散射校正 定量分析 Laser induced breakdown spectroscopy Graininess Matrix effect Multivariate scattering correction Quantitative analysis 
光谱学与光谱分析
2020, 40(4): 1207

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