北京工业大学 北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心, 北京 100124
表面粗糙度测量是评估零件表面特性的重要手段。经过二十多年的发展, 三维表面粗糙度逐渐成为反映工件表面特性的重要指标。本文总结并比较了接触式测量法、非接触式测量法和纳米表面粗糙度分析法中常用三维表面粗糙度的测量原理及特点。针对每种测量方法的发展现状, 本文讨论了其适用范围及局限性, 并指出了未来的发展方向。
三维表面粗糙度 测量方法 接触式测量 非接触式测量 纳米表面粗糙度分析 areal surface roughness measurement methods contact measurement non-contact measurement nanometer-scale surface roughness analysis
针对大角度（大于50°）衍射光学元件低成本、批量化制备的需求，提出一种基于纳米压印技术的制备方法.首先利用光学曝光技术或电子束直写技术制备衍射元件的原始母板，然后将原始母板的结构通过纳米压印过程复制到压印胶上，完成衍射光学元件的制备.由于纳米压印母板可以多次重复使用，降低了制作成本，提高了效率.用该方法制备了不同特征尺寸（最小为250 nm，衍射全角为70°）的衍射光学元件，具有良好的衍射效果，实现了对高深宽比浮雕结构的高保真复制.该技术可实现从微米到纳米跨尺度兼容的衍射光学元件的高保真、低成本、批量化制备.
衍射光学元件 低成本 批量化 纳米压印 跨尺度兼容 Diffractive Optical elements Low cost Mass production Nanoimprint lithography Nanometer scale
