1 大连理工大学 物理与光电工程学院
2 光子技术研究中心,辽宁 大连 116024
3 大连理工大学 化工学院 高分子材料系
从波导微环谐振器的谐振方程出发,推导出了波导微环谐振器的无热化条件和谐振波长温度依赖特性表达式,分析了硅衬底PSQ聚合物波导微环谐振器滤波功能的温度特性.通过选择合适的聚合物衬底来取代传统的硅衬底,可极大地减小聚合物波导微环谐振器的温度敏感性,给出了聚合物衬底选择的方法.研究结果表明,所设计的全聚合物波导微环谐振器,在温度从20~65 ℃范围内谐振波长漂移量最大值为－0.008 5 nm,温度依赖波长漂移率最大值为－0.000 90 nm/K,实现了无热化.
聚合物波导微环谐振器 温度依赖性 无热化 热光系数 热膨胀系数 Polymer waveguide microring resonator Temperature dependence Athermalization Thermal optical coefficient Coefficient of thermal expansion
