使用STM32F103ZET6单片机控制, 采用PA92功率放大器驱动压电陶瓷, 设计了532nm平平腔结构的F-P扫描干涉仪。腔镜反射率为99%, 精细度310, 腔长0.1~150mm连续可调, 对应自由光谱区1~1500GHz和分辨率3.2~4800MHz连续可调。压电陶瓷驱动电压和频率通过编码器调节, 可以在0~200V和1~100Hz连续可调, 并显示在数码管上。同时可以通过RS232串口与计算机通讯, 在上位机使用LabVIEW软件界面方便地设置压电陶瓷驱动电压和频率。使用F-P扫描干涉仪, 对激光二极管泵浦Nd∶YVO4/KTP绿光激光器纵模进行了测量, 验证了整个系统的工作性能稳定可靠。

为了判定被测激光的模式特征, 基于激光的频率特性, 提出了一种测量激光陀螺谐振腔横模特征的方法.利用F-P扫描干涉仪, 可以实时在线测量激光模式分布特性, 该方法以已知F-P扫描干涉仪的频率间隔和扫频速度为比例尺, 将难以测量的横模频率间隔转化为易于测量的时间间隔, 通过测量从扫描干涉仪给出的谱图, 计算出不同横模的频率间隔与纵模间隔的比例系数, 并与该陀螺的理论比例系数进行比较, 从而实现对激光陀螺谐振腔横模特征的精确判定.通过对某型环形激光谐振腔的测量实验, 得到了该陀螺模式特征随着工作电流大小变化的规律: 随着放电电流的增加, 激光陀螺腔内所振荡的横模由单一的基模逐渐转变为基模和高阶模的混合模,并准确地判定出该谐振腔横模特征, 其测量结果与理论结果误差小于2%.利用该方法横模频率间隔测量准确度可达1 MHz, 重复性可达0.4 MHz.

通过分析F-P扫描干涉仪的工作原理，基于STC89C52RC单片机，采用PA93功率放大器驱动压电陶瓷，设计了1 064 nm平平腔结构的F-P扫描干涉仪。腔镜反射率为98%，精细度156，腔长0.1~100 mm连续可调，对应自由光谱区1.5~1 500 GHz和分辨率9.65~9 650 MHz。压电陶瓷驱动电压和频率通过4×4矩阵键盘，可以在0~200 V和1~30 Hz连续可调，显示在1 602液晶屏上。同时可以通过RS232串口与计算机通讯，在上位机使用LabVIEW软件界面方便地设置压电陶瓷驱动电压和频率。最后使用该F-P扫描干涉仪，对激光二极管泵浦Nd: YVO4激光器纵模进行了测量，验证了整个系统的工作性能。

Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求。

本文提出了用平面F-P扫描干涉仪测量双谱线激光振荡模的方法,并对3.3922 μm和3.3912 μm双谱线He-Ne激光振荡模进行了实际测量。