未来极紫外光刻技术的发展亟需更高功率的光刻光源，能量回收型自由电子激光光源可以实现千瓦量级以上的功率输出，是一种极具潜力的高功率极紫外光刻光源。主要介绍了高功率能量回收型自由电子激光光源的工作原理、发展现状以及所面临的关键技术挑战。

中国工程物理研究院红外太赫兹自由电子激光装置是一台用于材料、光谱、生物、医学等领域前沿研究的多功能用户装置，在实验室现有的太赫兹自由电子激光装置（CTFEL）基础上，拟新增两套2×9-cell超导加速单元和两台波荡器，将电子能量提升至最大50 MeV，输出频率覆盖范围拓展至0.1~125 THz，最大宏脉冲功率大于100 W。同时，采用跑道型束线设计，拟建设一台小型能量回收型直线加速器实验研究平台。本文主要介绍了中国工程物理研究院红外太赫兹自由电子激光装置的总体设计、工作模式以及用户实验站布局。

FLASH at DESY, Hamburg, Germany is the first free-electron laser (FEL) operating in the extreme ultraviolet (EUV) and soft x-ray wavelength range. FLASH is a user facility providing femtosecond short pulses with an unprecedented peak and average brilliance, opening new scientific opportunities in many disciplines. The first call for user experiments has been launched in 2005. The FLASH linear accelerator is based on TESLA superconducting technology, providing several thousands of photon pulses per second to user experiments. Probing femtosecond-scale dynamics in atomic and molecular reactions using, for instance, a combination of x-ray and optical pulses in a pump and probe arrangement, as well as single-shot diffraction imaging of biological objects and molecules, are typical experiments performed at the facility. We give an overview of the FLASH facility, and describe the basic principles of the accelerator. Recently, FLASH has been extended by a second undulator beamline (FLASH2) operated in parallel to the first beamline, extending the capacity of the facility by a factor of two.

设计了中物院太赫兹科研装置超导加速器低电平控制系统的射频前端部分，采用了信号源8663A 与直接信号发生器板卡AD9858 结合的方案，产生射频前端所需的30.72 MHz 中频信号和1330.72 MHz 本振信号。采用AD9510 时钟板产生ADC 和DAC 采样所需的频率122.88 MHz和245.76 MHz，采样信号时间抖动仅为4 ps，由此引起的幅值采样误差和相位采样误差分别为±0.04%和±0.025%，符合设计要求。

射频超导谐振腔已经大规模地应用到粒子加速器领域,其优越之处在于它可以在CW模式或长宏脉冲模式下,提供高的加速梯度.射频超导已经成为自由电子激光和能量回收直线加速器的关键技术.经过30多年的研究发展,解决了超导腔的热崩溃、场致发射等诸多关键问题,目前加速梯度已经超过40 MV/m.高加速梯度的获得是射频超导领域的前沿热点,电抛光+低温热处理技术使射频超导腔的加速梯度提高3～4 MV/m.最新发展起来的超导腔的干式处理可以改善超导腔的表面状况,提高超导腔的Q值,抑制次级电子发射效应,有可能成为提高超导腔性能的又一有效手段.

激光与相对论电子束的康普顿散射可产生高亮度、超短脉冲、辐射波长可调、峰值亮度高的准单色、极化X射线.这是一种新型的激光同步辐射光源,以其造价低、小型紧凑等特点受到人们的重视,成为当前研究的热点.介绍了激光同步辐射光源的性质和特点,对利用北京大学超导加速器装置的电子束产生激光同步辐射进行了初步计算和设计,该波段X射线显示出了诱人的应用前景.