广东工业大学 物理与光电工程学院，广东 广州 510006
为研究大面积激光投影光刻的调焦，利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差（OPD）和调制传递函数（MTF）的影响，分析二者对投影曝光图形质量的影响，给出系统最大的离焦量值。提出一种利用显微镜的调焦方法，分析此方法的调焦误差主要来自于显微镜景深，根据景深表达式和系统最大离焦量值，选择一款景深不大于系统最大离焦量的显微镜来构建调焦系统，并基于该调焦系统进行光刻实验。实验结果表明：利用该方法对投影成像光刻进行调焦，无论是否离焦，边缘视场与中心视场的MTF均有差异，分辨率也有差异，但这种差异不影响光刻图形的质量。
投影光刻 Zemax光学设计软件 调制传递函数 离焦 调焦 projection lithography Zemax optical design software modulation transfer function defocusing zooming
1 大连理工大学物理与光电工程学院, 辽宁 大连 116024
2 大连民族学院理学院, 辽宁 大连 116600
提出用两组透镜阵列与非球面透镜组成焦斑可调的均匀辐照光学系统，可实现靶面光斑尺寸在几微米到几毫米的范围内连续可调，并且能将圆形入射激光束变换为方形均匀焦斑，同时满足二维激光光束形状的改变和强度空间分布均匀化的要求。应用矩阵光学、衍射积分理论，详细分析了它的工作原理，给出了系统优化设计参数和详细的数值计算结果。模拟计算结果表明，当靶面离焦量为Δz=2 mm时，x，y方向平顶区的不均匀度分别为ηx=4.6%，ηy=5.3%，能量利用率达到95.3%，基本上达到了设计要求。Zemax光学设计软件的仿真实验测试结果与理论分析结果吻合得很好。
光学设计 焦斑可控系统 透镜阵列 均匀辐照 Zemax光学设计软件
