激光微尺度烧蚀下的烧蚀质量是激光微推进系统中评估比冲等性能参数的重要物理量，文中在利用扫描电镜得到的烧蚀坑图像的基础上，基于灰度表面重构形貌方法，建立了微尺度烧蚀坑形貌三维模型重构算法；针对图像噪声影响，对图像进行分段平滑，有效地解决了量化误差和灰度模糊对重构形貌的影响，实现了烧蚀坑体积估算。结果表明：所提出的方法能够快速有效地重构激光微尺度烧蚀下烧蚀坑形貌的三维形状，进而计算其烧蚀质量。

为了改善高能流密度飞秒激光的烧蚀质量，使用法布里珀罗腔产生子脉冲间隔在1~3 500 ps内连续可调的飞秒激光脉冲序列，系统探究了单个飞秒高斯脉冲与不同脉冲间隔的脉冲序列在硅上烧蚀的孔型质量。实验结果显示，子脉冲间隔在50~100 ps范围内时，孔边缘的冠状重熔物大大减少，其厚度仅为单个飞秒高斯脉冲的40%，周围基底几乎没有粘连的粉尘或热损伤痕迹，孔型品质因子数值从单个飞秒脉冲的0.52提升至0.89。本文报道的飞秒激光脉冲序列，基于后续子脉冲与喷出物的二次烧蚀原理，子脉冲间隔在50~100 ps范围内时，后续子脉冲能够最大程度的雾化喷出物，从而减少冠状重熔物与高温粉尘污染损伤，烧蚀质量得到改善。