西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710021
为了研究三层介质减反射薄膜的散射特性减小光学薄膜的散射损耗，以多层光学薄膜矢量光散射理论为基础，利用光学薄膜的总散射损耗与光学薄膜双向反射分布函数的关系，研究了三层减反射薄膜的散射特性，即三层减反射薄膜随着层数增加双向反射分布函数与散射角的关系，以及入射波长变化对于三层减反射薄膜双向分布反射函数的影响。研究结果表明，在界面微粗糙度相关模型下，三层减反射薄膜在中心波长处，具有减反射和减散射效果,其反射率曲线呈明显的“W”形，反射率的极大值出现在中心波长处，而对于完全非相关模型,镜面反射方向上的双向反射分布函数随着波长的增加呈现出单调减小的趋势。
减反射膜 矢量光散射 总散射损耗 薄膜 散射特性 anti-reflection films vector light scattering total scattering losses thin film scattering property
西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 西安710032
讨论了采用PECVD 方法在K9玻璃基底上制备SiO2、SiNx、以及SiOxNy薄膜材料的工艺参数与薄膜光学特性、沉积速率的关系, 并且运用掌握的工艺参数成功地制备了400~800nm波长范围双层、梯度折射率减反射膜样片。实验结果表明, 采用PECVD方法能够制备折射率可控的光学薄膜材料, 沉积薄膜厚度的精度可以控制在7%以内。
光学减反射膜 工艺参数 薄膜光学特性 anti-reflection films PECVD experiment parameter optical properties
1 中国科学院 上海光学精密机械研究所 光学薄膜技术研究与发展中心,上海 201800
2 中国科学院研究生院,北京 100039
3 中北大学信息与通信工程学院,山西 太原 030051
利用1-on-1损伤测试方法,测试了真空和空气、氧气、氮气、氦气环境下在波长为1064 nm处增透膜(ARF)的激光损伤阈值和损伤形貌。结果表明,真空环境下的损伤阈值明显低于大气环境下的损伤阈值,真空环境下的破斑形貌也与大气环境下的破斑形貌有显著差异。在真空环境下存入一定量的氧气、氮气和氦气后薄膜的损伤阈值都得到提高,但存入的气体的种类及气压不同,损伤阈值与破斑形貌也不尽相同。
薄膜 增透膜 环境气氛 激光损伤阈值 损伤形貌
武汉军械士官学校光电技术研究所, 湖北 武汉 430075
概括了光学级类金刚石(DLC)膜的优点与性能, 对最常用的几种制备类金刚石膜的方法——脉冲激光沉积法、磁过滤电弧沉积法、射频辉光放电等离子体化学气相沉积法、磁控溅射法、射频溅射法和离子束沉积法的原理、特点、研究进展、所制备的类金刚石膜的性能以及类金刚石膜在各种光学材料和领域的应用状况进行了详细的总结。通过对国内外研究进展的分析, 揭示出光学级类金刚石膜各种制备方法的优劣及其广阔的应用前景和巨大的实用价值。
薄膜 类金刚石膜 增透膜 保护膜
1 武汉军械士官学校 光电技术研究所, 湖北 武汉 430075
2 华中科技大学 光电子科学与工程研究院, 湖北 武汉 430074
金刚石膜及类金刚石(DLC)膜由于具有宽光谱透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点，可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌、MgF2，HgCdTe，KCl等的增透/保护膜，起到抗磨损、抗腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。金刚石膜及类金刚石膜已被应用于太阳能硅电池、高功率CO2激光器窗口、潜望镜红外(IR)窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等。总结了这一方面的应用和研究进展，展示了金刚石膜及类金刚石膜巨大的优越性与广阔的应用前景。
金刚石膜 类金刚石膜 增透膜 保护膜
对白宝石(Al2O3)和石英(SiO2)窗口的性能进行了比较,并在白宝石上镀制增透膜,进行初步的判断实验,取得了良好的效果,同时对存在的问题进行了分析,指出白宝石是一种比较有前途的高功率激光窗口材料.
白宝石 石英 增透膜
