1 华中光电技术研究所武汉—光电国家实验室, 湖北 武汉 430223
2 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春130022
在亚波长区(λ/n<Λ<λ)具有较低反射率和零级透射率,然而在小周期区(Λ<λ/n)具有低反射率和透射率。因此,基于严格耦合波分析(RCWA)理论,以硅基底仿生小周期蛾眼微纳结构为例,设计并分析了针对该结构反射率及透射率的影响因素,如占空比、刻蚀深度、周期等,并给出了最优化参数组合。在制作过程中采用电子束刻蚀及剥离技术进行掩模图形的光刻,然后经过反应离子刻蚀得到所需深度。最后,应用原子力显微镜进行结构形貌表征,红外光谱仪测试得到该结构反射率在7%左右,透射率约为69%～93%。
严格耦合波分析 蛾眼 小周期微纳结构 反射率 抗反射特性 RCWA moth-eye small periodic micro-nanostructures reflectivity antireflective performance
1 遵义师范学院物理系，贵州 遵义 563002
2 国防科技大学机电工程与自动化学院，长沙 410073
基于严格耦合波分析理论和遗传算法，研究了亚波长矩形光栅(即二元光栅)的抗反射特性。针对光通信中的1．55μm波长设计了抗反射矩形光栅。探讨了光栅周期、占空比和光栅深度的变化对抗反射特性的影响。给出了光栅的抗反射特性所适用的入射角度及波长范围。当入射角度小于30°，在光纤传输系统中入射光波长为C波段和L波段时，反射效率小于0．4%，有效地减小了光纤传输系统的回波损耗。
二元光学 亚波长矩形光栅 抗反射特性 严格耦合波分析 遗传算法 binary optics subwavelength grating with rectangular grooves antireflective performance rigorous couplewave analysis (RCWA) genetic algorithm
