1 华中光电技术研究所武汉—光电国家实验室, 湖北 武汉 430223
2 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春130022
在亚波长区(λ/n<Λ<λ)具有较低反射率和零级透射率,然而在小周期区(Λ<λ/n)具有低反射率和透射率。因此,基于严格耦合波分析(RCWA)理论,以硅基底仿生小周期蛾眼微纳结构为例,设计并分析了针对该结构反射率及透射率的影响因素,如占空比、刻蚀深度、周期等,并给出了最优化参数组合。在制作过程中采用电子束刻蚀及剥离技术进行掩模图形的光刻,然后经过反应离子刻蚀得到所需深度。最后,应用原子力显微镜进行结构形貌表征,红外光谱仪测试得到该结构反射率在7%左右,透射率约为69%～93%。
严格耦合波分析 蛾眼 小周期微纳结构 反射率 抗反射特性 RCWA moth-eye small periodic micro-nanostructures reflectivity antireflective performance
