哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150080
太赫兹反射式共焦扫描显微成像系统分辨率较高且可呈现物体三维像，因此具有很大的应用价值。针对一种连续太赫兹反射式共焦扫描显微成像实验光路，在所确定的系统参数条件下，计算分析了两种太赫兹波长( 118.83 μm 和184.31 μm )的系统轴向响应特性。仿真结果表明，所设计的波长118.83 μm 的成像实验装置横向分辨率可达0.23 mm，轴向分辨率约为4.27 mm；波长184.31 μm 的系统横向分辨率可达0.36 mm，轴向分辨率约为6.63 mm。探测器轴向偏移影响大于横向偏移影响。
太赫兹成像 反射式共焦扫描 分辨率 轴向偏移 横向偏移 激光与光电子学进展
2014, 51(8): 081101
武汉工程大学 材料科学与工程学院， 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室， 武汉 430073
利用Nd：YAG型金刚石精密激光切割机，采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理，利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征，研究了激光充电电压和焦点位置对扫描凹槽宽度和深度的影响，以及扫描间距对平整化效果的影响。研究结果表明：扫描凹槽宽度随激光充电电压的升高而增大；凹槽深度随激光充电电压的升高而增大，随偏焦量的增大而增大。激光轴向偏焦法对CVD金刚石膜进行平整化处理后，其粗糙度显著减小，利用氢等离子体对其表面进行刻蚀处理，能够有效去除表层石墨，从而达到理想的平整化效果。
激光 轴向偏焦法 平整化 CVD金刚石膜 laser axial offset-focus flatting CVD diamond film
点探测器的位置是决定双轴共焦显微技术层析能力的关键因素之一,理想的共焦显微成像系统要求点探测器放在光轴上并且没有离焦情况出现。通过理论和实验分析了点探测器偏离理想位置对双轴共焦显微技术的轴向响应特性造成的影响。结果表明,点探测器的微小轴向偏移对轴向响应特性造成的影响基本可以忽略,但点探测器的微小横向偏移会使轴向响应曲线沿着z轴方向产生一定的移动,移动量随着偏移量的增大而增大。
探测器 双轴共焦显微技术 轴向响应 轴向偏移 横向偏移 激光与光电子学进展
2010, 47(8): 081201
