作者单位
摘要
1 科学技术部科技人才交流开发服务中心,北京 100045
2 中国科学技术信息研究所,北京 100038
3 中国科学院武汉文献情报中心,湖北 武汉 430071
4 中国科学院大学经济与管理学院信息资源管理系,北京 100191
基于光刻技术领域相关论文和全球“高被引科学家”名单,分析了光刻技术领域的研究时间和国家、研究机构、研究资助机构及高水平基础研究人才的分布特征,并在此基础上开展光刻领域论文的文献计量分析,分析光刻领域的研究方向、主题和发展趋势。结果表明,目前光刻技术论文产出呈现下降趋势,美国在该研究领域具有领先优势,光学光刻及掩模、光刻胶及电子束光刻、极紫外(EUV)光刻等技术主题研究仍以国外机构为主。我国已开展布局高数值孔径EUV光刻、导向自组装光刻、石墨烯基材料、机器学习的应用等新兴主题。本文提出光刻技术研发的总体布局、研究机构、企业力量、人才机制的建议,以期为相关领域决策和研究提供科学依据。
光刻技术 科学知识图谱 多维主题分析 基础研究 高被引科学家 
激光与光电子学进展
2023, 60(23): 2300004
作者单位
摘要
1 华南理工大学电力学院, 广东 广州 510640
2 广东省能源高效低污染转化与工程技术研究中心, 广东 广州 510640
3 佛山华谱测智能科技有限公司, 广东 佛山 528313
煤电是我国的主力电源, 也是碳排放的主要来源, 实现煤质快速检测有利于提升煤电机组的安全、低碳和经济运行水平, 促进电厂智能化发展。激光诱导击穿光谱 (LIBS) 技术是一项新兴的快速测量技术, 具有无需复杂样品预处理、多指标同步分析、适用于在线测量等优点, 在煤质快速检测领域具有良好的应用前景。对本团队近年来在 LIBS 煤质检测领域的基础研究和应用开发成果进行了总结和展望, 重点概括了 LIBS 检测煤质中遇到的主要问题及解决方案, 展示了 LIBS 技术在煤质快速检测领域的应用潜力。
激光技术 煤质快速分析 激光诱导击穿光谱 基础研究 应用开发 laser technique rapid analysis of coal property laser-induced breakdown spectroscopy basic research application development 
量子电子学报
2021, 38(6): 727
作者单位
摘要
1 北京航空航天大学  材料科学与工程学院,  北京 100191
2 航天材料及工艺研究所,  北京  100076
3 中国科学院西安光学精密机械研究所,  西安 710068
采用碳纤维复合材料(CFRP)制造反射镜是空间光学系统轻量化的发展趋势。详细地阐述了国外科研机构在碳纤维复合材料反射镜方面开展的全面基础研究, 特别是美国复合材料反射镜研究应用公司(CMA)、伦敦大学学院UCL在这方面的研究情况。阐明了以PLANCK、RICH、NPOI和ULTRA等项目的高精度反射镜为典型代表的工程应用情况, 介绍了碳纤维复合材料反射镜的最新研究情况, 包括碳纳米管/环氧树脂制造反射镜和镜面非接触方法加工。
碳纤维复合材料 反射镜 基础研究 工程应用 高精度 carbon fiber composite mirror basic research engineering application high precision 
光学技术
2017, 43(1): 90

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