1 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 微系统技术重点实验室 传感技术联合国家重点实验室, 上海 200050
2 中国科学院大学, 北京 100039
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理, 研究了垂直梳齿的制作工艺, 采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜。制作的扫描镜镜面尺寸为3 mm×2 mm, 谐振频率为1.32 kHz。测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面, 其表面粗糙度的均方根只有8.64 nm; 扫描镜在驱动电压为95 V时可以实现最大2.4°的扭转角度; 测得其开启时的响应时间为1.887 ms, 关断时的响应时间为4.418 ms。
微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺 Microelectromechanical Systems (MEMS) scanning mirror vertical comb driver bulk micromaching
