随着液晶显示技术的发展,PPI越来越高,像素尺寸越来越小,穿透率的提升是一重要问题.负性液晶相对正性液晶具有高穿透率,较好的画面画质及较低的颜色偏差等优点,使得主流显示模式IPS、FFS使用负性液晶研究逐渐增多.但由于负性液晶自身特性,其影像残留较正性液晶更为严重,特别是模组粘合附近区域的局部面残.为了改善负性液晶局部影像残留,本文研究了实际样品影像残留严重区域与轻微区域不同测量数据,如温度、共电压(Vcom)等,发现影像残留严重区域与轻微区域的公共电压出现漂移现象,分析了影响残影的因素,并提出改善方案,实测结果证明本文改善局部残影的方法是有效的.
负性液晶 残影 公共电极电压 negative liquid crystal image sticking(IS) common voltage
1 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 微系统技术重点实验室 传感技术联合国家重点实验室, 上海 200050
2 中国科学院大学, 北京 100039
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理, 研究了垂直梳齿的制作工艺, 采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜。制作的扫描镜镜面尺寸为3 mm×2 mm, 谐振频率为1.32 kHz。测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面, 其表面粗糙度的均方根只有8.64 nm; 扫描镜在驱动电压为95 V时可以实现最大2.4°的扭转角度; 测得其开启时的响应时间为1.887 ms, 关断时的响应时间为4.418 ms。
微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺 Microelectromechanical Systems (MEMS) scanning mirror vertical comb driver bulk micromaching
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100039
在利用正弦相位调制菲佐干涉仪进行测量时, 由于菲佐板及待测物体表面对入射光的多次反射而产生多光束干涉, 干涉信号的强度随相位变化不是严格的余弦分布。按照双光束干涉的算法进行相位信息提取, 会引入一定的误差。以正弦相位调制菲佐干涉仪纳米精度微小位移测量为应用背景, 分析多光束干涉情况下该干涉仪信号解调算法的误差, 进而对干涉仪的相关参数进行优化, 并通过误差补偿对测量结果进行修正, 有效减小了多光束干涉产生的影响。
测量 多光束干涉 参数优化 误差补偿 正弦相位调制
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100039
在激光二极管(LD)正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中,通过注入电流调制激光二极管波长的同时,光源输出的光强也被调制,成为测量误差的主要来源之一。提出一种新的消除激光二极管正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的干涉仪,给出了具体的理论分析。该干涉仪采用全光纤结构,有效减小外界干扰对干涉测量的影响;采用容易实现的前置信号处理电路和实时相位检测器对干涉信号进行处理,消除了激光二极管光强调制产生的测量误差;同时实现了物体微小位移的高精度实时测量,测量的重复精度达到1 nm。实验结果与其他消除光强调制影响的方法测得的结果基本一致,验证了该方法的实用性。
测量 干涉仪 正弦相位调制 实时测量
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100039)
提出一种用于硅微机械谐振传感器研究的单光源激振测振新方法,即微谐振器的激励及其谐振信号的测量使用同一光源。该方法采用全光纤斐索干涉仪结构,将干涉信号与光源强度变化信号进行运算后,通过选频技术解调出谐振器的振动信息,同时采用贝塞耳函数比值法扩大了振动幅度的测量范围,省去了一些难以获得准确数值的工作参数的计算。采用该方法实现了微悬臂梁结构形式的谐振器件的单光源激振与测振,获得了器件的谐振频率约为8.81 kHz以及谐振状态下的振动幅度约为135 nm。实验结果与采用其他双光源激振测振方法基本一致,新方法的可行性得到了验证。
测量 光学检测 硅微谐振器 单光源系统 光学激励
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100039
针对正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于位移测量时，调制频率对干涉信号相位解调的影响，提出一种调制频率的优化选择依据。通过对干涉信号的频谱进行分析，发现当被测位移幅度较小时，较小的调制频率即可满足相位解调的要求; 而当被测位移较大时，必须相应地增大调制频率，才能获得比较准确的测量结果。模拟计算以及实验结果表明，被测位移信号的幅度每增大四分之一测量光源波长，调制频率需要相应增大4倍于被测信号频率的大小，才能满足正弦相位调制位移干涉测量技术信号处理的需要。
测量 正弦相位调制 调制频率 频谱分析
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室,上海,201800
提出了一种基于人工神经网络的全光纤化大量程实时距离干涉测量仪.采用双正弦相位调制方法,即通过同时调制半导体激光器的波长和干涉仪的光程差实现外差测量.为了扩大干涉仪的测量范围和消除输出信号中的交叉敏感,采用人工神经网络进行信号处理,把两路经过初步解调的干涉信号作为输入样本,物体距离的实际值作为输出样本,对神经网络进行训练,以使其具有良好的推广能力.实验结果表明神经网络的使用不仅扩大了距离的测量范围而且提高了测量精度.
干涉仪 人工神经网络 距离测量 Interferometer ANN Distance measurements
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室,上海 201800
提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪.通过采用复合光源和反馈系统,有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响,实现了物体微振动的纳米精度实时测量.
测绘仪器 实时测量 微振动 干涉仪
