中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室,上海 201800
提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪.通过采用复合光源和反馈系统,有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响,实现了物体微振动的纳米精度实时测量.
测绘仪器 实时测量 微振动 干涉仪
1 华北工学院电子信息工程系, 山西 太原 030051
2 圣彼得堡光机学院, 俄罗斯 197022
介绍了光电三坐标旋转角度测试方法,研究了中空四面体反射检测传感器的特性以及由中空四面体组成的三坐标测试仪器和该仪器在三坐标旋转角度测试中的应用。
测绘仪器 角度测试 光学四面体 三坐标
清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
随着LD技术的不断发展,LD抽运的全固体激光陀螺将以其高精度、低成本、小型化的特点而有望成为21世纪光学陀螺发展的主流。介绍了激光陀螺的工作原理,分析了LD抽运的全固体激光陀螺的响应特性,给出了LD抽运全固体激光陀螺的实验装置及初步的实验结果。
测绘仪器 环形激光器 激光二极管(LD) 光学陀螺 固态 抽运
1 清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
2 中国计量科学研究院,北京,100013
提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统，该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位，其轴向台阶高度测量范围在5 μm以上。同时采用相位测量技术，实现了对半波长的3600细分，从而使测量分辨率达到0.1 nm。由此同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求。实验结果表明系统在没有恒温的普通实验室条件下1 h内的漂移不超过15 nm，与差动纳米双频干涉仪的比对结果线性系数在0.9999以上，非线性误差约10 nm。
测绘仪器 相位测量 外差干涉 共焦显微术
