1 中国空间技术研究院 宇航物资保障事业部, 北京 100029
2 哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院, 黑龙江省 哈尔滨 150001
3 哈尔滨师范大学 物理与电子工程学院, 黑龙江省 哈尔滨 150025
选用35 MeV Si离子, 针对NPN及PNP型双极晶体管(BJT)进行辐照实验, 探究重离子辐照条件下双极晶体管辐射损伤及缺陷在不同发射结偏置条件下的影响规律。通过原位测试不同偏置条件的双极晶体管电流增益等参数随辐照注量的变化关系, 研究了发射结偏置条件对双极晶体管辐射损伤的影响。此外, 采用深能级瞬态谱(DLTS)针对辐照后的双极晶体管进行了测试, 得到了双极晶体管内的辐射缺陷信息。基于电性能测试和DLTS分析结果可以看出, 双极晶体管辐照时所施加的偏置条件能够明显地影响器件的电性能参数和器件内的深能级缺陷浓度, 不同类型的缺陷对于电性能的影响也存在明显差异。
双极晶体管 重离子辐照 位移辐射 深能级缺陷 bipolar junction transistor heavy ions displacement radiation deep level defects 太赫兹科学与电子信息学报
2017, 15(5): 874
