作者单位
摘要
中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
报道了320 × 256元InAs /GaSb II 类超晶格红外双色焦平面阵列探测器的初步结果.探测器采用PNNP叠层双色外延结构,信号提取采用顺序读出方式.运用分子束外延技术在GaSb 衬底上生长超晶格材料,双波段红外吸收区的超晶格周期结构分别为7 ML InAs /7 ML GaSb和10 ML InAs /10 ML GaSb.焦平面阵列像元中心距为30 μm.在77 K 时测试,器件双色波段的50%响应截止波长分别为4.2 μm和5.5 μm,其中NonP器件平均峰值探测率达到6.0×1010 cmHz1/2W-1,盲元率为8.6%;PonN器件平均峰值探测率达到2.3×109 cmHz1/2W-1,盲元率为9.8%.红外焦平面偏压调节成像测试得到较为清晰的双波段成像.
超晶格 双色 焦平面 InAs/GaSb InAs/GaSb superlattice doublecolor focal plane array 
红外与毫米波学报
2015, 34(6): 0716

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