郑州大学 力学与安全工程学院, 郑州 450001
极化处理是压电半导体材料制备及构件设计中的关键工艺, 直接影响着其压电性能。根据夹层极化的方法, 研制出一种多样性极化实验装置, 解决了压电半导体的极化问题, 并对极化后的GaN材料性能进行了系统研究。实验结果表明: (1)极化使GaN材料具备了压电性能, 改变了其力电性能参数; (2)极化显著提高了压电半导体的导电能力, 改变了其弯曲强度。
压电半导体 极化装置 压电性能 力电性能 piezoelectric semiconductor GaN GaN polarization device piezoelectric property electrical and mechanical properties
