中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
研究了常规光刻工艺下单晶薄膜晶圆制备声表面波滤波器的频率分散特性。结果表明，压电单晶薄膜的表面色差是引起频率分散性恶化的根本原因，采用抗反射膜工艺抑制衬底反射以及分区曝光工艺对不同色块进行曝光补偿，均能有效地提高片内频率一致性，频率2 MHz内包含最大器件数量占比，从常规曝光的48.81%提高到抗反射膜工艺的53.57%和分区曝光工艺的70.24%。
压电单晶薄膜衬底 抗反射膜 曝光补偿 频率一致性 piezoelectric-on-insulator wafer antireflective film exposure compensation frequency consistency
哈尔滨理工大学自动化学院, 黑龙江 哈尔滨 150080
针对传统SIFT算法很难兼顾匹配实时性与匹配准确率这一矛盾,提出一种融合彩色信息表征与光照补偿的Harris-SIFT算法。该算法在图像灰度化之前计算彩色信息补偿,并通过高斯权重函数得出光照补偿量,增强图像对比度,进而提高系统的匹配准确率。通过Harris角点检测算法与SIFT算法融合提高系统的快速性并剔除表征不好的特征点,改善系统的实时性。实验结果表明匹配算法在匹配准确率提高的同时,还提高了算法的实时性。
图像处理 光照补偿 色彩补偿 Harris-SIFT 图像匹配 激光与光电子学进展
2019, 56(19): 191004
